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Sistema di Raggio Ionico Messo A Fuoco V600FIB (FIB) di FEI

La Famiglia V600 comprende gli strumenti di modifica del circuito più efficienti, più flessibili e redditizi disponibili per i laboratori a semiconduttore. Permettono alla modifica ed all'analisi veloci e versatili con un raggio ionico singola colonna e messo a fuoco (FIB) che efficacemente consegna l'alte modifica del circuito di capacità di lavorazione, inter-divisione ed analisi dell'errore. La Famiglia V600 comprende le estensioni del software e del hardware per indirizzare i requisiti avanzati di modifica del circuito inferiore a 65 nanometro, consegnanti le soluzioni più redditizie dei requisiti immediati e futuri.

Vantaggi e Capacità

Caratterizzando FEI 30 chilovolt più avanzati, la colonna dello ione del Sidewinder di 5 nanometro, ogni membro della Famiglia V600 è supremo capace della rappresentazione ad alta definizione, della fresatura e dell'accesso rapido alle funzionalità sotto la superficie su una vasta gamma di materiale. la direzione della Mezzo Colonna per le operazioni a bassa tensione minimizza il danno nelle lamelle del TEM-campione mentre l'operazione a corrente forte assicura la rimozione materiale rapida e la capacità di lavorazione aumentata del campione.

Con la sua fase piezo-elettrica di cinque-asse, il V600FIB offre l'inclinazione uncompromised e le capacità di inter-divisione su una vasta gamma di campioni, dalle parti imballate ai wafer pieni di 200mm. Un sistema operativo Basato Su Windows industria-riconosciuto accomoda il software campo-provato e xT-applicazione-specifico, compreso Percorso di Fotogramma-Salto minimizzare il danneggiamento dei vostri campioni. Con il V600FIB, avete la potenza realizzare le modifiche del circuito nel giro di poche ore, invece dei giorni o settimana-che è il tasto all'analisi ed al rendimento drammaticamente accelerati dilaga nel vostro laboratorio. Egualmente offre la generazione seguente di flessibilità e la prestazione richiesta per l'efficaci inter-divisione, rappresentazione e preparato del campione di microscopia elettronica (TEM) di trasmissione.

Applicazioni

V600FIB è esecutore eccellente per le seguenti applicazioni:

  • SEMICONDUTTORE E ARCHIVIAZIONE DI DATI
    • Modifica del Circuito
    • Analisi dell'Errore
    • Analisi di Difetto
    • Metrologia 3D
  • RICERCA
    • Materiali e Preparato del Campione
    • Nanoprototyping

Last Update: 3. February 2012 16:25

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