La Famiglia V600 comprende gli strumenti di modifica del circuito più efficienti, più flessibili e redditizi disponibili per i laboratori a semiconduttore. Permettono alla modifica ed all'analisi veloci e versatili con un raggio ionico singola colonna e messo a fuoco (FIB) che efficacemente consegna l'alte modifica del circuito di capacità di lavorazione, inter-divisione ed analisi dell'errore. La Famiglia V600 comprende le estensioni del software e del hardware per indirizzare i requisiti avanzati di modifica del circuito inferiore a 65 nanometro, consegnanti le soluzioni più redditizie dei requisiti immediati e futuri.
Vantaggi e Capacità
Caratterizzando FEI 30 chilovolt più avanzati, la colonna dello ione del Sidewinder di 5 nanometro, ogni membro della Famiglia V600 è supremo capace della rappresentazione ad alta definizione, della fresatura e dell'accesso rapido alle funzionalità sotto la superficie su una vasta gamma di materiale. la direzione della Mezzo Colonna per le operazioni a bassa tensione minimizza il danno nelle lamelle del TEM-campione mentre l'operazione a corrente forte assicura la rimozione materiale rapida e la capacità di lavorazione aumentata del campione.
Con la sua fase piezo-elettrica di cinque-asse, il V600FIB offre l'inclinazione uncompromised e le capacità di inter-divisione su una vasta gamma di campioni, dalle parti imballate ai wafer pieni di 200mm. Un sistema operativo Basato Su Windows industria-riconosciuto accomoda il software campo-provato e xT-applicazione-specifico, compreso Percorso di Fotogramma-Salto minimizzare il danneggiamento dei vostri campioni. Con il V600FIB, avete la potenza realizzare le modifiche del circuito nel giro di poche ore, invece dei giorni o settimana-che è il tasto all'analisi ed al rendimento drammaticamente accelerati dilaga nel vostro laboratorio. Egualmente offre la generazione seguente di flessibilità e la prestazione richiesta per l'efficaci inter-divisione, rappresentazione e preparato del campione di microscopia elettronica (TEM) di trasmissione.
Applicazioni
V600FIB è esecutore eccellente per le seguenti applicazioni:
- SEMICONDUTTORE E ARCHIVIAZIONE DI DATI
- Modifica del Circuito
- Analisi dell'Errore
- Analisi di Difetto
- Metrologia 3D
- RICERCA
- Materiali e Preparato del Campione
- Nanoprototyping