A Família V600 compreende o mais eficiente, flexível, e o circuito eficaz na redução de custos edita as ferramentas disponíveis para laboratórios do semicondutor. Permitem a alteração e a análise rápidas, versáteis com uma único-coluna, o feixe de íon focalizado (FIB) que entrega eficazmente a alteração do circuito da produção, a cruz-secção, e a análise altas da falha. A Família V600 inclui o hardware e as extensões do software para endereçar circuito avançado editam exigências abaixo de 65 nanômetro, entregando as soluções as mais eficazes na redução de custos para exigências imediatas e futuras.
Vantagens e Capacidades
Caracterizando FEI os 30 quilovolts os mais avançados, a coluna do íon do Sidewinder de 5 nanômetro, cada membro da Família V600 é suprema capaz da imagem lactente de alta resolução, mmoendo, e acesso rápido às características subsuperficiais em uma escala larga dos materiais. a direcção da Meados de-Coluna para as operações de baixa voltagem minimiza dano em lamellas da TEM-amostra quando a operação alto-actual assegurar a remoção material rápida e a produção aumentada da amostra.
Com sua fase piezo da cinco-linha central, o V600FIB oferece inclinação uncompromised e capacidades da cruz-secção em uma vasta gama de amostras, das peças empacotadas às bolachas completas de 200mm. Um sistema operativo Baseado no Windows indústria-reconhecido acomoda o software campo-provado, xT-aplicação-específico, incluindo a Navegação do Quadro-Salto para minimizar dano a suas amostras. Com o V600FIB, você tem a potência executar em questão de horas alterações do circuito, em vez dos dias ou semana-que é a chave às rampas dramàtica aceleradas da análise e do rendimento em seu laboratório. Igualmente oferece a próxima geração de flexibilidade e o desempenho exigido para a cruz-secção, a imagem lactente, e a preparação eficazes da amostra da microscopia (TEM) de elétron de transmissão.
Aplicações
V600FIB é executor excelente para as seguintes aplicações:
- ARMAZENAMENTO DE DADOS DO SEMICONDUTOR E
- O Circuito Edita
- Análise da Falha
- Análise de Defeito
- Metrologia 3D
- PESQUISA
- Materiais e Preparação da Amostra
- Nanoprototyping