Sistema de Feixe Focalizado V600FIB do Íon (FIB) de FEI

A Família V600 compreende o mais eficiente, flexível, e o circuito eficaz na redução de custos edita as ferramentas disponíveis para laboratórios do semicondutor. Permitem a alteração e a análise rápidas, versáteis com uma único-coluna, o feixe de íon focalizado (FIB) que entrega eficazmente a alteração do circuito da produção, a cruz-secção, e a análise altas da falha. A Família V600 inclui o hardware e as extensões do software para endereçar circuito avançado editam exigências abaixo de 65 nanômetro, entregando as soluções as mais eficazes na redução de custos para exigências imediatas e futuras.

Vantagens e Capacidades

Caracterizando FEI os 30 quilovolts os mais avançados, a coluna do íon do Sidewinder de 5 nanômetro, cada membro da Família V600 é suprema capaz da imagem lactente de alta resolução, mmoendo, e acesso rápido às características subsuperficiais em uma escala larga dos materiais. a direcção da Meados de-Coluna para as operações de baixa voltagem minimiza dano em lamellas da TEM-amostra quando a operação alto-actual assegurar a remoção material rápida e a produção aumentada da amostra.

Com sua fase piezo da cinco-linha central, o V600FIB oferece inclinação uncompromised e capacidades da cruz-secção em uma vasta gama de amostras, das peças empacotadas às bolachas completas de 200mm. Um sistema operativo Baseado no Windows indústria-reconhecido acomoda o software campo-provado, xT-aplicação-específico, incluindo a Navegação do Quadro-Salto para minimizar dano a suas amostras. Com o V600FIB, você tem a potência executar em questão de horas alterações do circuito, em vez dos dias ou semana-que é a chave às rampas dramàtica aceleradas da análise e do rendimento em seu laboratório. Igualmente oferece a próxima geração de flexibilidade e o desempenho exigido para a cruz-secção, a imagem lactente, e a preparação eficazes da amostra da microscopia (TEM) de elétron de transmissão.

Aplicações

V600FIB é executor excelente para as seguintes aplicações:

  • ARMAZENAMENTO DE DADOS DO SEMICONDUTOR E
    • O Circuito Edita
    • Análise da Falha
    • Análise de Defeito
    • Metrologia 3D
  • PESQUISA
    • Materiais e Preparação da Amostra
    • Nanoprototyping

Last Update: 3. February 2012 16:32

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