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FEI V600FIB 集中的离子束 (FIB)系统

V600 系列包括最高效,灵活,并且有效电路编辑工具可用为半导体实验室。 他们启用快速,多才多艺的修改和分析与有效提供高处理量电路 (FIB)修改,跨区分和故障分析的单排,集中的离子束。 V600 系列包括硬件,并且解决先进的电路的软件扩展名编辑需求在 65 毫微米以下,提供最有效的解决方法的立即和将来的需求。

好处和功能

以 FEI 的最先进的 30 kV 为特色, 5 毫微米响尾蛇离子列, V600 系列的每位亲属至尊有能力在高分辨率想象上,碾碎,和快速存取对在各种各样的材料的表层下功能。 当高电流运算保证迅速物质删除和增加的范例处理量时,低压运算的中间列指点使在 TEM 范例鳞片的故障减到最小。

其五轴压力阶段, V600FIB 为充分的 200mm 薄酥饼提供没有暴露的掀动和在各种各样的范例的跨区分功能,从被包装的零件。 一行业被识别的微软视窗操作系统适应现场以证实, xT 应用特定软件,包括框架上涨定位使对您的范例的故障减到最小。 使用 V600FIB,您有功率几小时进行电路修改,而不是或星期是这个关键字对显著加速的分析和产量舷梯在您的实验室的几天。 它也提供灵活性的对于有效跨区分,想象和透射电镜术范例准备是必需的下一代 (TEM)和性能。

应用

V600FIB 是下列应用的非常好的执行者:

  • 半导体和数据存储
    • 电路编辑
    • 故障分析
    • 缺陷分析
    • 3D 计量学
  • 研究
    • 材料和范例准备
    • Nanoprototyping

Last Update: 3. February 2012 16:17

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