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CVD Equipment Corporation 引入太阳和能源的 EasyTube 系统

Published on February 19, 2009 at 6:16 PM

CVD Equipment Corporation (那斯达克: CVV) 宣布 EasyTube™系统系列的简介与一个重点的在质量管理和研究 & 发展下一代工艺过程开发的在瞄准的太阳和能源域减少全球依赖性对油和煤气。 EasyTube™平台提供可以迅速是和花费高效地自定义对必要的各种各样的薄膜进程需求加速下一代太阳能电池/模块和聪明的视窗的商品化解决方法的结构。

例如,我们的 EasyTube™ 3000-SiQC 系统被出售在太阳和半导体行业 (http://www.cvdequipment.com/ET3000_SiQC 合格硅前体材料 1 个 12.pdf)。 这些系统为用于的 Chlorosilane 前体的质量管理使用制造多晶的硅标尺。 通过使用存款为纯度被评定的一部外延影片的同一个前体,硅前体材料的纯度可以是确定的。 此质量管理工具将帮助开发建议的多晶硅前体的更加低价的制造方法制造与少许减少的光致电压的换能效率的太阳能电池。

例如另外, EasyTube™研究系统有能力在其他影片证言,无定形的硅、多晶硅、氮化硅,高或者低温二氧化硅、硅和硅锗外延,透明导电性氧化物 (SnO2、 ZnO 等等), Sulfurization、 Selenization、迅速热量为下一代硅和香烟太阳能电池工艺过程最佳化和其他相关扩散被驱动的进程上需要的焖火、 POCl3。 EasyTube™系统可以用各种各样的选项装备,包括 Loadlock、运算以高或低压,基体循环的证言和构成均一,迅速热化和许多其他。 EasyTube™进程气体操作系统适应起火,易燃,腐蚀性,含毒物,固定和液体参考来源资料。 选项气体、液体或者固定的来源发运和进程气体尾气处理启用存时间和货币的已建成投付使用的处理解决方法。

非常成功的 EasyTube™产品线被出售全世界到大学,并且应用的研究实验室在纳米技术和半导体研究市场。 膨胀的 EasyTube™产品线着重在太阳和能源业的应用提供更加低价的研究和更加快速的发运开发太阳和相关能源制造过程。

Last Update: 14. January 2012 05:27

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