University of Tokyo Places ordre for fotoresist Udvikler fra EV Group

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

VE Group (EVG) , en førende leverandør af wafer limning og litografi udstyr til MEMS, nanoteknologi og halvleder markeder, meddelte i dag, at de har modtaget en ordre på sin EVG101D, en photoresist udvikler, fra University of Tokyo. En første gang for at vinde fra universitetet, vil EVG er værktøjet installeres på en super-renrum (klasse 1) i Takeda Sentanchi Building at universitetets faciliteter.

En alsidig F & U-system, de EVG101D forøger en eksisterende udvikleren på universitetet og vil blive brugt til at udvikle 100-nm og mindre mønstre på masker og vafler op til 200 mm på forsknings-anlæg. De mønstre vil blive skabt af e-beam litografi system fra VLSI Design og Uddannelse Center (VDEC).

"Dette Udvikler fra EVG vil give os mulighed for at reducere mængden af ​​kemikalier kræves i udviklingslandene processen, og give en samlet reduktion af omkostningerne for os," sagde professor Yoshio Mita fra University of Tokyo.

"Det EVG100 serien er en fleksibel værktøjssamling, som kan modificeres til at fungere som en spray eller spin coater, som er ideel til et F & U-miljø. Desuden er denne fotoresistbelagte behandling serie er i stand til belægning mønstrede vafler, som er egnet til MEMS produktion, "sagde Yuichi Otsuka, repræsentant direktør for VE Group Japan KK

The University of Tokyo har etableret et avanceret forskning facilitet dedikeret til ultra-fine litografi / nanomeasurement. Den avancerede center gør deres førende R & D værktøjer til nanoprocessing og nanomeasurement til rådighed for offentlige og private virksomheder såvel som offentlige institution forskere. Siden sin oprettelse i 2007, har disse enheder brugt centerets high-throughput nanolithography og nano-målesystemer, samt sin super opløsning transmissions elektron mikroskop og et udvalg af produktionssystemer atypisk til halvlederindretninger produktion. Anlægget giver også støberi og analyser tjenester med universitetets medarbejdere ved hånden til at støtte. For mere information, besøg venligst: www.nanotechnet.tu-tokyo.ac.jp

Last Update: 17. October 2011 15:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit