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La Universidad de Tokio Pone la Pedido para el Revelador de la Fotoprotección del Grupo de EV

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

El Grupo de EV (EVG), un surtidor de cabeza del equipo de la vinculación y de la litografía del fulminante para el MEMS, nanotecnología y mercados del semiconductor, anunciaron hoy que han recibido una orden para su EVG101D, un revelador de la fotoprotección, de la Universidad de Tokio. Un triunfo por primera vez de la orden de la Universidad, la herramienta de EVG será instalado en un cuarto superlimpio (Clase 1) en el Edificio de Takeda Sentanchi en los recursos de la Universidad.

Un sistema versátil del R&D, el EVG101D aumenta un revelador existente en la Universidad y será utilizado para desarrollar 100 nanómetro y modelos más pequeños en máscaras y fulminantes hasta 200 milímetros en el centro de investigación. Los modelos serán creados por el sistema de la litografía del e-haz del Centro de Concepción y de Educación del VLSI (VDEC).

“Este revelador de EVG permitirá que reduzcamos la cantidad de substancias químicas requeridas en el proceso que se convierte, y proporciona a una reducción de costes totales para nosotros,” dijo a Profesor Yoshio Mita de la Universidad de Tokio.

“La serie EVG100 es un juego de herramientas flexible que se puede modificar para servir como aerosol o para hacer girar la máquina de pintar, que es ideal para un ambiente del R&D. Además, esta fotoprotección que tramita la serie es capaz de fulminantes modelados capa, que es conveniente para la producción de MEMS,” dijo a Yuichi Otsuka, Director Representativo del Grupo Japón K.K. de EV.

La Universidad de Tokio ha establecido un centro de investigación avanzado dedicado a la litografía/al nanomeasurement ultrafinos. El centro sofisticado hace sus herramientas marginales del R&D para nanoprocessing y el nanomeasurement disponibles para el público y las empresas privadas así como los investigadores de la institución del gobierno. Desde su reconocimiento en 2007, estas entidades han utilizado los sistemas del nanolithography y de la nano-medición de la alto-producción del centro, así como su microscopio electrónico estupendo de la transmisión de la resolución y una variedad de sistemas de fabricación anormales a la producción del dispositivo de semiconductor. El recurso también proporciona a la fundición y analiza servicios, con el estado mayor de la universidad a mano para utilizar. Para más información, visite por favor: www.nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp

Last Update: 17. January 2012 03:02

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