L'Université de Tokyo Passe la Commande de le Révélateur de Vernis Photosensible du Groupe d'EV

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

Le Groupe d'EV (EVG), un principal fournisseur de matériel de métallisation et de lithographie de disque pour le MEMS, nanotechnologie et marchés de semi-conducteur, ont aujourd'hui annoncé qu'ils ont reçu une commande pour son EVG101D, un révélateur de vernis photosensible, de l'Université de Tokyo. Une victoire de première année de commande de l'Université, l'outil d'EVG sera installée à une salle très propre (Type 1) dans le Bâtiment de Takeda Sentanchi aux installations de l'Université.

Un système versatile de R&D, l'EVG101D augmente un révélateur existant à l'Université et sera utilisé pour développer 100 nanomètre et plus petites configurations sur des masques et des disques jusqu'à 200 millimètres à l'installation de recherches. Les configurations seront produites par le système de lithographie d'e-poutre du Centre de Conception et d'Éducation d'ITGE (VDEC).

« Ce révélateur d'EVG nous permettra de réduire la quantité de produits chimiques exigés dans le procédé se développant, et fournit une réduction des coûts générale pour nous, » a dit Professeur Yoshio Mita de l'Université de Tokyo.

« La suite EVG100 est un jeu d'outils flexible qui peut être modifié pour servir de pulvérisateur ou pour tourner le dispositif d'enduction, qui est idéal pour un environnement de R&D. Supplémentaire, ce vernis photosensible traitant la suite est capable des disques modelés par couche, qui convient pour la production de MEMS, » a dit Yuichi Otsuka, Directeur Représentatif de Groupe Japon K.K. d'EV.

L'Université de Tokyo a déterminé une installation avancée de recherches consacrée à la lithographie/au nanomeasurement d'ultra-fin. Le centre sophistiqué effectue leurs outils de pointe de R&D pour nanoprocessing et nanomeasurement disponibles aux entreprises privées publiques et anonymes ainsi qu'aux chercheurs d'institution de gouvernement. Depuis son établissement en 2007, ces entités ont utilisé les systèmes de nanolithography et de nano-mesure du haut-débit du centre, ainsi que son microscope électronique superbe de boîte de vitesses de définition et un grand choix de systèmes de fabrication atypiques à la production de dispositif de semi-conducteur. L'installation également fournit la fonderie et analyse des services, avec le personnel d'université en stock pour supporter. Pour plus d'information, visitez s'il vous plaît : www.nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp

Last Update: 17. January 2012 04:30

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit