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टोक्यो विश्वविद्यालय EV समूह से photoresist डेवलपर के लिए स्थान आदेश

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

EV) समूह (EVG , वफ़र संबंध और MEMS, नैनो, और अर्धचालक बाजारों के लिए लिथोग्राफी उपकरण के एक प्रमुख आपूर्तिकर्ता, आज घोषणा की कि वे टोक्यो विश्वविद्यालय से अपनी EVG101D, एक photoresist डेवलपर के लिए एक आदेश प्राप्त हुआ है. पहली बार विश्वविद्यालय से आदेश जीत, EVG उपकरण Takeda Sentanchi भवन में एक सुपर साफ (कक्षा 1) विश्वविद्यालय सुविधाओं में कमरे में स्थापित किया जाएगा.

एक बहुमुखी अनुसंधान एवं विकास प्रणाली, EVG101D augments विश्वविद्यालय में एक मौजूदा डेवलपर और मास्क और अनुसंधान सुविधा में 200 मिमी वेफर्स पर 100 एनएम और छोटे पैटर्न विकसित करने के लिए इस्तेमाल किया जाएगा. पैटर्न वीएलएसआई डिजाइन और शिक्षा केंद्र (VDEC) से ई - बीम लिथोग्राफी प्रणाली द्वारा बनाया जाएगा.

"EVG से इस डेवलपर हमें विकासशील प्रक्रिया में आवश्यक रसायनों की मात्रा को कम करने के लिए, और हमारे लिए एक समग्र लागत में कमी प्रदान की अनुमति देगा" टोक्यो के विश्वविद्यालय से प्रोफेसर Yoshio मीता ने कहा.

"EVG100 श्रृंखला एक लचीला toolset कि एक स्प्रे या स्पिन coater है, जो एक आर एंड डी वातावरण के लिए आदर्श है के रूप में सेवा करने के लिए संशोधित किया जा सकता है. इसके अतिरिक्त, इस photoresist प्रसंस्करण श्रृंखला कोटिंग नमूनों वेफर्स, जो MEMS उत्पादन के लिए उपयुक्त है सक्षम है, "Yuichi ओत्सुका, EV समूह जापान केके के प्रतिनिधि निदेशक ने कहा

टोक्यो विश्वविद्यालय के एक उन्नत अनुसंधान अल्ट्रा ठीक लिथोग्राफी / nanomeasurement समर्पित सुविधा स्थापित किया है. परिष्कृत केंद्र nanoprocessing और सार्वजनिक और निजी कंपनियों के रूप में के रूप में अच्छी तरह से सरकारी संस्थान के शोधकर्ताओं के लिए उपलब्ध nanomeasurement के लिए उनके अग्रणी बढ़त अनुसंधान एवं विकास उपकरण बना देता है. 2007 में अपनी स्थापना के बाद, इन संस्थाओं केंद्र उच्च throughput nanolithography और नैनो माप प्रणाली, के रूप में के रूप में अच्छी तरह से अपनी सुपर संकल्प संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप और अर्धचालक युक्ति उत्पादन के लिए atypical विनिर्माण प्रणालियों की एक किस्म का इस्तेमाल किया है. सुविधा भी विश्वविद्यालय के कर्मचारियों पर हाथ करने के लिए समर्थन के साथ फाउंड्री और विश्लेषण सेवाओं, प्रदान करता है. अधिक जानकारी के लिए कृपया विजिट करें: www.nanotechnet.tu - tokyo.ac.jp

Last Update: 23. October 2011 20:53

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