L'Università di Tokyo Ordina Per il Rivelatore del Photoresist dal Gruppo di EV

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

Il Gruppo di EV (EVG), un fornitore principale della strumentazione di legame e della litografia del wafer per il MEMS, nanotecnologia e servizi a semiconduttore, oggi hanno annunciato che hanno ricevuto un ordine per il suo EVG101D, un rivelatore del photoresist, dall'Università di Tokyo. Una vittoria principiante di ordine dall'Università, lo strumento di EVG sarà installata ad una stanza super-pulita (Classe 1) nell'Edificio di Takeda Sentanchi agli impianti dell'Università.

Un sistema versatile di R & S, il EVG101D aumenta un rivelatore attuale all'Università e sarà usato per sviluppare 100 nanometro e più piccoli reticoli sulle maschere e sui wafer fino a 200 millimetri alla funzione di ricerca. I reticoli saranno creati dal sistema della litografia del e-raggio dal Centro di Progettazione e di Formazione di VLSI (VDEC).

“Questo rivelatore da EVG permetterà che noi diminuiamo la quantità di prodotti chimici richiesti nel trattamento di sviluppo e che fornisce una riduzione di costo globale per noi,„ ha detto il Professor Yoshio Mita dall'Università di Tokyo.

“La serie EVG100 è gli strumenti flessibili che possono essere modificati per servire da spruzzo o per filare il dispositivo a induzione, che è ideale per un ambiente di R & S. Ulteriormente, questo photoresist che elabora la serie è capace dei wafer modellati rivestimento, che è adatta a produzione di MEMS,„ ha detto Yuichi Otsuka, Direttore Rappresentativo del Gruppo Giappone K.K. di EV.

L'Università di Tokyo ha stabilito una funzione di ricerca avanzata dedicata alla litografia/nanomeasurement ultra-fini. Il centro specializzato fa i loro strumenti avanzati di R & S per nanoprocessing e il nanomeasurement disponibili a pubblico e ad aziende private come pure ai ricercatori dell'istituzione di governo. Dalla sua istituzione nel 2007, queste entità hanno usato i sistemi di nanolithography e di nano-misura della alto-capacità di lavorazione del centro come pure il suo microscopio elettronico eccellente della trasmissione di risoluzione e vari sistemi di fabbricazione atipici a produzione dell'unità a semiconduttore. La funzione egualmente fornisce la fonderia ed analizza i servizi, con il personale dell'università a disposizione per supportare. Per più informazioni, visualizzi prego: www.nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp

Last Update: 17. January 2012 04:02

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