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Universidade de Tóquio Ordem Locais para Desenvolvedor Photoresist de EV Group

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

EV Group (EVG) , um fornecedor líder de wafer bonding e equipamentos de litografia para o mercado de nanotecnologia MEMS e de semicondutores, anunciou hoje que recebeu uma ordem para a sua EVG101D, um desenvolvedor de fotorresiste, da Universidade de Tóquio. Uma vitória ordem pela primeira vez na Universidade, ferramenta EVG será instalado em uma sala super-limpo (Classe 1) no Edifício Sentanchi Takeda nas instalações da Universidade.

A versátil R & D sistema, o aumenta EVG101D um desenvolvedor existentes na Universidade e será usado para desenvolver 100 nm e padrões menores em máscaras e wafers de até 200 mm no centro de pesquisa. Os padrões serão criados por e-beam sistema de litografia do Projeto VLSI e Centro de Educação (VDEC).

"Este desenvolvedor da EVG nos permitirá reduzir a quantidade de produtos químicos necessários no processo de desenvolvimento, e proporcionar uma redução de custo total para nós", disse o professor Yoshio Mita da Universidade de Tóquio.

"A série EVG100 é um conjunto de ferramentas flexíveis que podem ser modificados para servir como um spray ou aplicador de rotação, que é ideal para um ambiente de P & D. Além disso, esta série de processamento de fotorresiste é capaz de wafers revestimento padronizados, o que é adequado para a produção de MEMS ", disse Yuichi Otsuka, Diretor Representante da EV Group Japan KK

Da Universidade de Tóquio criou um centro de pesquisa avançado dedicado à ultra-finas de litografia / nanomeasurement. O centro faz sua sofisticada tecnologia de ponta em I & D e ferramentas para nanoprocessing nanomeasurement disponíveis para empresas públicas e privadas, bem como pesquisadores instituição governamental. Desde a sua criação em 2007, essas entidades têm utilizado nanolithography do centro de alto rendimento e nano-sistemas de medição, bem como a sua resolução super microscópio eletrônico de transmissão e uma variedade de sistemas de produção atípico para a produção de dispositivos semicondutores. A instalação também fornece serviços de fundição e análises, com os funcionários da universidade na mão-de-apoio. Para mais informações, visite: www.nanotechnet.tu tokyo.ac.jp-

Last Update: 23. October 2011 20:54

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