Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Университет Заказа Мест Токио для Проявителя Фоторезиста от Группы EV

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

Группа EV (EVG), ведущий поставщик оборудования выпуска облигаций и литографирования вафли для MEMS, нанотехнологии и рынков полупроводника, сегодня объявили что они получили заказ для своего EVG101D, проявитель фоторезиста, от Университета Токио. Начинающий выигрыш заказа от Университета, инструмента EVG будет установлен на супер-чистую комнату (Тип 1) в Здании Takeda Sentanchi на средствах Университета.

Разносторонняя система R&D, EVG101D увеличивает существующий проявитель на Университете и будет использована для того чтобы начать 100 nm и более малые картины на масках и вафлях до 200 mm на средстве исследования. Картины будут созданы системой литографированием e-луча от Центра Конструкции и Образования VLSI (VDEC).

«Этот проявитель от EVG позволит нам уменьшить количество химикатов необходим в превращаясь процессе, и обеспечивает общего снижения себестоимости для нас,» сказал Профессору Yoshio Mita от Университета Токио.

«Серия EVG100 гибкий toolset который можно доработать для служения как брызг или для того чтобы закрутить coater, который идеально для окружающей среды R&D. Дополнительно, этот фоторезист обрабатывая серию способен вафель сделанных по образцу покрытием, которая соответствующа для продукции MEMS,» сказал Yuichi Otsuka, Репрезентивный Директор Группы Японии K.K. EV.

Университет Токио устанавливал средство перспективных исследований предназначенное к ультра-точным литографированию/nanomeasurement. Изощренный центр делает их инструменты R&D ведущей кромки для nanoprocessing и nanomeasurement доступных к публике и частным компаниям так же, как исследователям заведения правительства. С своей установки в 2007, эти реальности использовали системы nanolithography и nano-измерения высок-объём центра, так же, как своего супер просвечивающий электронный микроскоп разрешения и разнообразие системы производств нетиповые к продукции полупроводникового устройства. Средство также обеспечивает плавильню и анализирует обслуживания, с штатом университета в наличии для того чтобы поддержать. Для больше информации, пожалуйста посетите: www.nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp

Last Update: 14. January 2012 10:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit