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东京大学发出订单从 EV 组的光致抗蚀剂开发员

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

EV 组 (EVG),薄酥饼 MEMS 的,纳米技术和半导体市场接合和石版印刷设备的主导的供应商,今天宣布他们收到了其 EVG101D 的订单,光致抗蚀剂开发员,从东京大学。 从大学, EVG 的工具的一次首次命令胜利在一间超干净的屋子 (选件类将被安装 1)在大学的设施的武田 Sentanchi 大厦。

一个多才多艺的 R&D 系统, EVG101D 在大学增添一位现有的开发员,并且使用开发 100 nm 和更小的模式在屏蔽和薄酥饼 200 mm 在研究所。 模式将由 e 射线从 VLSI 设计和教育中心 (VDEC) 的石版印刷系统创建。

“从 EVG 的此开发员将允许我们减少在这个开发的进程中需要的相当数量化学制品,并且为我们提供总成本减少”, Yoshio Mita 教授从东京大学的说。

“EVG100 串联是可以修改担当浪花或空转涂料工,对 R&D 环境是理想的一个灵活的成套工具。 另外,处理串联的此光致抗蚀剂有能力在涂层被仿造的薄酥饼上,适用于 MEMS 生产”,说 Yuichi Otsuka, EV 组日本 K.K. 的有代表性的主任。

东京大学设立了一个先进的研究所投入极其细小的石版印刷/nanomeasurement。 这个复杂的中心做他们的为 nanoprocessing 和 nanomeasurement 的前进 R&D 工具可用对公共和私人公司以及政府机构研究员。 在 2007年从其设置,这些实体使用了中心的高处理量 nanolithography 和纳诺评定系统,以及其超级解决方法传输电子显微镜和各种各样的制造系统非典型对半导体设备生产。 这个设备也提供铸造厂并且分析服务,与现有大学的人员支持。 对于更多信息,请参观: www.nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp

Last Update: 14. January 2012 04:25

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