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東京大學發出訂單從 EV 組的光致抗蝕劑開發員

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

EV 組 (EVG),薄酥餅 MEMS 的,納米技術和半導體市場接合和石版印刷設備的主導的供應商,今天宣佈他們收到了其 EVG101D 的訂單,光致抗蝕劑開發員,從東京大學。 從大學, EVG 的工具的一次首次命令勝利在一間超乾淨的屋子 (選件類將被安裝 1)在大學的設施的武田 Sentanchi 大廈。

一個多才多藝的 R&D 系統, EVG101D 在大學增添一位現有的開發員,并且使用開發 100 nm 和更小的模式在屏蔽和薄酥餅 200 mm 在研究所。 模式將由 e 射線從 VLSI 設計和教育中心 (VDEC) 的石版印刷系統創建。

「從 EVG 的此開發員將允許我們減少在這個開發的進程中需要的相當數量化學製品,并且為我們提供總成本減少」, Yoshio Mita 教授從東京大學的說。

「EVG100 串聯是可以修改擔當浪花或空轉塗料工,對 R&D 環境是理想的一個靈活的成套工具。 另外,處理串聯的此光致抗蝕劑有能力在塗層被仿造的薄酥餅上,適用於 MEMS 生產」,說 Yuichi Otsuka, EV 組日本 K.K. 的有代表性的主任。

東京大學設立了一個先進的研究所投入極其細小的石版印刷/nanomeasurement。 這個複雜的中心做他們的為 nanoprocessing 和 nanomeasurement 的前進 R&D 工具可用對公共和私人公司以及政府機構研究員。 在 2007年從其設置,這些實體使用了中心的高處理量 nanolithography 和納諾評定系統,以及其超級解決方法傳輸電子顯微鏡和各種各樣的製造系統非典型對半導體設備生產。 這個設備也提供鑄造廠并且分析服務,與現有大學的人員支持。 對於更多信息,请請參觀: www.nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp

Last Update: 24. January 2012 12:16

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