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Carl Zeiss Führt seinen Neuentwickelten Arbeitsplatz AURIGA Querträger-(FIB-SEM) ein

Published on March 25, 2009 at 7:39 PM

Heute führte Carl Zeiss SMT seinen neuentwickelten Arbeitsplatz AURIGA™ CrossBeam® (FIB-SEM) ein. Als einer der Pioniere, wenn sie diese Klasse von Instrumenten und mit mehr als 8 Jahren FIB-SEM Erfahrung entwickelte, enthielt die Firma eine große Anzahl Innovationen im neuen AURIGA.

AURIGA, der neue in hohem Grade flexible Querträgerarbeitsplatz von Carl Zeiss entbindet Informationen über Auflösung hinaus.

Dr. Thomas Albrecht, Management Direktorn-Produkt, sagte: „Nützliche Informationen über eine Probe gehen weit darüber hinaus gerade Oberflächenbilder der hohen Auflösung. Wir konzentrierten uns auf zwei Hauptaufgaben während der Entwicklung dieses leistungsfähigen neuen Instrumentes: Zuerst die Analyse von einer nie-vor-gesehenen Vielzahl von Proben ermöglichen und an zweiter Stelle, Abnehmer aktivieren, die maximalen Informationen einzuholen möglich von jeder Probe. AURIGA - viel mehr als gerade ein Bild entbinden - ist das Ergebnis dieser Suche.“

Neue Kammerauslegung und eindeutige Ladungsausgleichsanlage für hoch entwickelten Analytics
Chemische Analyse, kristallographische Informationen, die komplette Morphologie, die elektrischen Informationen… die Zahl und die Komplexität von den Aufgaben, die benötigt werden, um eine umfangreiche Beispielkennzeichnung auf der nmschuppe zu erhalten, ist- unbegrenzt, wie die Anzahl und die Vielzahl von Proben. Deshalb ist Flexibilität ein Moder. Um diese Bedingung zu erfüllen, hat AURIGA eine vollständig neu entworfene Unterdruckkammer, die jetzt insgesamt 15 Anschlüsse für verschiedene Detektoren umfaßt. Zusätzlich aktiviert eine konkurrenzlose Ladungsausgleichsanlage die lokale Anwendung einer Edelgasfieberhitze. Auf diese Art wird die elektrostatische Aufladung von nicht leitfähigen Proben neutralisiert und Befund von Sekundärelektronen (SE) sowie von umgekehrten Elektronen (BSE) wird durchführbar. Auch EDS, EBSD, SIMS und viele mehr analytischen Methoden profitieren von dieser Technologie und unterstützen zahlreiche Anwendungen in der Materialverbrauchsanalyse, Biowissenschaften und Halbleitertechnik.

Genaues Aufbereiten von Proben durch eindeutige Darstellung
Das Innere des AURIGA CrossBeam®-Arbeitsplatzes ist die nachgewiesene Spalte GEMINI® FE-SEM. Sein spezieller Inobjektiv EsB-Detektor bietet Bilder mit ausgezeichnetem materiellem Kontrast an. Zusätzlich aktiviert die Auslegung der ZWILLINGS-Spalte die Analyse von magnetischen Proben. Ein Merkmal, das zu den Querträgerarbeitsplätzen von Carl Zeiss eindeutig ist, ist simultanes Mahlen und hochauflösende SEM-Darstellung. Um optimale Kundenbetreuung sicherzustellen, enthält AURIGA eine neue hochauflösende FLUNKEREI mit einer Auflösung der höchsten Ebene von 2,5 nm und besseres. Verfahrenstechnik des Hoch entwickelten Gases für Ion und Eträger unterstützte Radierung und Absetzung beendet die ungleiches Beispielerreichbaren Fertigungsgenauigkeiten dieses neuen Instrumentes.

Zukunft-Sicherlich Verbesserungspfad
Flexible Anpassung an das Ändern oder die steigenden Nachfragen ist eine Anforderung, die tadellos vom AURIGA unterstützt wird. Beginnend mit einer leistungsstarken FE-SEM Plattform, kann die Anlage entsprechend Haushaltsanforderungen oder analytischem Bedarf ausgebaut werden, ein vollausgebauter Querträgerarbeitsplatz, einschließlich FLUNKEREI-Spalte, Gaseinspritzungsanlage, Ladungsausgleich und eine umfangreiche Vielzahl von Detektoren zu werden. Der AURIGA kann zuerst konfiguriert werden, heutige Bedingungen zu erfüllen, während gleichzeitig Ausbaufähigkeit zukünftigen Bedarf mit führender Leistung erfüllen dürfen Sie.

Last Update: 14. January 2012 09:36

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