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Carl Zeiss Introduit son Poste de travail Developpé récemment de la Traverse d'AURIGA (FIB-SEM)

Published on March 25, 2009 at 7:39 PM

Aujourd'hui, Carl Zeiss SMT a introduit son poste de travail developpé récemment d'AURIGA™ CrossBeam® (FIB-SEM). En Tant Qu'un des pionniers en développant ce type des instruments, et avec plus de 8 ans d'expérience de FIB-SEM, la compagnie a comporté un nombre important d'innovations dans AURIGA neuf.

AURIGA, le poste de travail hautement flexible neuf de Traverse de Carl Zeiss fournit l'information au delà de la définition.

M. Thomas Albrecht, Gestion Du Produit de Directeur, A dit : Les « Informations utiles au sujet d'un échantillon vont bien au-delà juste des images extérieures de haute résolution. Nous nous sommes concentrés sur deux tâches principales pendant le développement de cet instrument neuf puissant : D'abord, pour rendre l'analyse possible d'une variété jamais-avant-vue d'échantillons, et en second lieu, pour permettre à des abonnées d'obtenir l'information maximum possible de chaque échantillon. AURIGA - fournissant beaucoup plus que juste une image - est le résultat de cette recherche. »

Design Neuf de cavité et seul système de compensation de charge pour l'analytique avancé
L'Analyse chimique, l'information cristallographique, la morphologie complète, l'information électrique… le numéro et la complexité des tâches exigées pour obtenir une vaste caractérisation d'échantillon sur l'échelle de nanomètre est illimitée, de même que le nombre et la variété d'échantillons. Par Conséquent, la souplesse est une nécessité. Afin de répondre à ce besoin, AURIGA a un puits à dépression complet remodelé, qui comprend maintenant un total de 15 ports pour différents détecteurs. Supplémentaire, un système incomparable de compensation de charge active l'application locale d'un flux de gaz inerte. De cette façon, le remplissage électrostatique des échantillons non-conducteurs est neutralisé et le dépistage des électrons secondaires (SE) ainsi que des électrons rétrodiffusés (ESB) devient faisable. Également l'EDS, les EBSD, les SIMS et beaucoup plus de méthodes analytiques tirent bénéfice de cette technologie, supportant de nombreuses applications dans l'analyse de matériaux, sciences de la vie et technologie des semiconducteurs.

Traitement Précis des échantillons par la seule représentation
Le coeur même du poste de travail d'AURIGA CrossBeam® est le fléau prouvé de GEMINI® FE-SEM. Son détecteur spécial d'ESB de dans-lentille offre des images avec l'excellent contraste matériel. Supplémentaire, le design du fléau de GÉMEAUX active l'analyse des échantillons magnétiques. Une caractéristique technique seule aux postes de travail de Traverse de Carl Zeiss est fraisage simultané et représentation à haute résolution de SEM. Pour assurer le support technique optimal, AURIGA comporte un BOBARD à haute résolution neuf avec une définition de premier niveau de 2,5 nanomètre et meilleur. La technologie de la transformation Avancée de gaz pour l'ion et l'e-poutre a aidé gravure et le dépôt remplit les capacités de traitement sans égal d'échantillon de cet instrument neuf.

Chemin Contrat à terme-Assurément de mise à jour
L'adaptation Flexible au changement ou aux demandes croissantes est une condition qui soit parfaitement supporté par AURIGA. Démarrant par une plate-forme de la haute performance FE-SEM le système peut être mis à jour selon des conditions budgétaires ou des besoins analytiques de devenir un poste de travail entièrement équipé de Traverse, y compris le fléau de BOBARD, le système d'injection de gaz, la compensation de charge et une vaste variété de détecteurs. AURIGA au commencement peut être configuré pour répondre à des besoins d'aujourd'hui tandis que, en même temps, tenez compte pour que l'amélioration réponde aux besoins futurs avec la performance de pointe.

Last Update: 17. January 2012 04:14

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