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カールツァイスは新開発の AURIGA の大梁 (FIB-SEM) ワークステーションを導入します

Published on March 25, 2009 at 7:39 PM

現在、カールツァイス SMT は新開発 AURIGA™ CrossBeam® (FIB-SEM) ワークステーションを導入しました。 器械の、そして 8 年間以上の FIB-SEM の経験のこのクラスの開発の開拓者の 1 人として、会社は新しい AURIGA の革新の膨大な数を組み込みました。

AURIGA は、カールツァイスからの新しい非常に適用範囲が広い大梁ワークステーション解像度を越える情報を提供します。

トマスアルブレヒトのディレクター製品管理先生は、言いました: 「サンプルについての有益な情報はちょうど高リゾリューションの表面の画像を越えて遠く行きます。 私達はこの強力で新しい器械の開発の間に 2 つの主要タスクに焦点を合わせました: 最初に、分析を、および二番目にサンプルの決しての前見られた変化の可能にするため、顧客が各サンプルから可能な最大情報を得ることを可能にするため。 AURIGA は - 大いに多くによりちょうど画像を提供します - ですこの探求の結果は」。

高度の analytics のための新しい区域デザインそして一義的な料金の補償システム
サンプルの番号そして変化があるように、化学分析、結晶学情報、完全な形態、電気ナノメーターのスケールの広範なサンプル性格描写を得るために必要な情報…番号およびタスクの複雑さは無制限です。 従って、柔軟性は絶対必要です。 この条件を満たすためには、 AURIGA は今合計異なった探知器のための 15 のポートを含んでいる完全に設計し直された真空槽があります。 さらに、無比の料金の補償システムは不活性ガスのフラッシュのローカルアプリケーションを可能にします。 このように、非導電サンプルの静電気充満は中和し、二次電子、また backscattered (SE) 電子 (BSE) の検出は実行可能になります。 また EDS、 EBSD、 SIMS およびもっとたくさんの分析的な方法は材料分析の多数のアプリケーション、生命科学および半導体技術をサポートするこの技術から寄与します。

一義的なイメージ投射によるサンプルの精密な処理
AURIGA の CrossBeam® ワークステーションのまさに中心は証明された GEMINI® FE-SEM のコラムです。 その特別な内部レンズ EsB の探知器は優秀で物質的な対照の画像を提供します。 さらに、ジェミニコラムのデザインは磁気サンプルの分析を可能にします。 カールツァイスからの大梁ワークステーションに一義的な機能は同時製粉および高解像 SEM イメージ投射です。 最適のカスタマ・サポートを保障するためには、 AURIGA は 2.5 nm の最高レベルの解像度の新しい高解像の他愛ない嘘をおよびよりよい組み込みます。 イオンおよび e ビームのための高度のガスの加工技術はエッチングを助け、沈殿はこの新しい器械の無比のサンプルプロセスケイパビリティを完了します。

未来確実なアップグレードの経路
変更するか、または高まる需要に適用範囲が広い適応は AURIGA によって完全にサポートされる条件です。 高性能 FE-SEM のプラットホームから開始してシステムは予算上条件か分析的な必要性に従って探知器の他愛ない嘘のコラム、ガスの注入システム、料金の補償および広範な変化を含む完全装備の大梁ワークステーションに、なるアップグレードすることができます。 AURIGA はアップグレード可能性が先端パフォーマンスの未来の必要性を満たすことができるように、同時に、可能にする間、今日の条件を満たすために最初に設定することができます。

Last Update: 14. January 2012 05:34

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