Carl Zeiss Introduceert zijn Pas ontwikkeld Werkstation AURIGA van de Dwarsligger (liegenen-SEM)

Published on March 25, 2009 at 7:39 PM

Vandaag, introduceerde Carl Zeiss SMT zijn pas ontwikkeld werkstation AURIGA™ CrossBeam® (van liegenen-SEM). Als één van de pioniers in het ontwikkelen van deze klasse van instrumenten, en met meer dan 8 jaar van ervaring liegenen-SEM, nam het bedrijf een reusachtig aantal innovaties in nieuwe AURIGA op.

AURIGA, het nieuwe hoogst flexibele werkstation van de Dwarsligger van Carl Zeiss levert informatie voorbij resolutie.

Dr. Thomas Albrecht, Directeur Product Management, zei: De „Nuttige informatie over een steekproef gaat ver verder dan enkel de beelden van de hoge resolutieoppervlakte. Wij concentreerden ons op twee belangrijke taken tijdens de ontwikkeling van dit krachtige nieuwe instrument: Eerst, om de analyse van een nooit-vóór-gezien verscheidenheid van steekproeven, en tweede mogelijk te maken, om klanten toe te laten om de maximuminformatie mogelijke uit elke steekproef te verkrijgen. AURIGA die - veel meer leveren dan enkel een beeld - is het resultaat van deze zoektocht.“

Nieuw kamerontwerp en het unieke systeem van de lastencompensatie voor geavanceerde analytics
De Chemische analyse, de kristallografische informatie, de volledige morfologie, de elektroinformatie… het aantal en de ingewikkeldheid van taken die worden vereist om een uitgebreide steekproefkarakterisering op de nanometerschaal te verkrijgen zijn onbeperkt, zoals het aantal en de verscheidenheid van steekproeven zijn. Daarom is de flexibiliteit een must. om aan dit vereiste te voldoen, heeft AURIGA een volledig herontworpen luchtledige kamer, die nu een totaal van 15 havens voor verschillende detectors omvat. Bovendien, laat een ongeëvenaard systeem van de lastencompensatie de lokale toepassing van een inert gasvloed toe. Op deze wijze, het elektrostatische wordt laden van niet geleidende steekproeven geneutraliseerd en de opsporing van secundaire elektronen (SE) evenals omgekeerde elektronen (BSE) wordt uitvoerbaar. Ook profiteren EDS, EBSD, SIMS en veel meer analytische methodes van deze technologie, ondersteunend talrijke toepassingen in materialenanalyse, het levenswetenschappen en halfgeleidertechnologie.

Nauwkeurige verwerking van steekproeven door unieke weergave
Het eigenlijke hart van het AURIGA werkstation van CrossBeam® is de bewezen kolom GEMINI® FE-SEM. Zijn speciale in-lensEsB detector biedt beelden met uitstekend materieel contrast aan. Bovendien, laat het ontwerp van de kolom van TWEELING de analyse van magnetische steekproeven toe. Een eigenschap uniek aan de werkstations van de Dwarsligger van Carl Zeiss is gelijktijdig malen en hoge resolutie de weergave van SEM. Om optimale klantenondersteuning te verzekeren, neemt AURIGA nieuwe high-resolution op LIEGT met een hoogste niveauresolutie van 2.5 NM en beter. De Geavanceerde technologie van de gasverwerking voor ion en e-straal woonde ets bij en het deposito voltooit de ongeëvenaarde mogelijkheden van de steekproefverwerking van dit nieuwe instrument.

Toekomstig-verzekerde verbeteringsweg
De Flexibele aanpassing aan veranderende of groeiende eisen is een vereiste dat volkomen door AURIGA wordt gesteund. De Aanvang met een krachtig platform FE-SEM het systeem kan volgens begrotingsvereisten worden bevorderd of analytisch moet een volledig uitgerust werkstation van de Dwarsligger worden, LIEGT het omvatten kolom, het systeem van de gasinjectie, lastencompensatie en een uitgebreide verscheidenheid van detectors. AURIGA kan aanvankelijk worden gevormd om aan de vereisten van vandaag te voldoen terwijl, tezelfdertijd voor upgradeability toesta om aan toekomstige behoeften met leading-edge prestaties te voldoen.

Last Update: 14. January 2012 10:01

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit