Карл Zeiss Вводит свою Заново Начатую Рабочую станцию Поперечной балки AURIGA (FIB-SEM)

Published on March 25, 2009 at 7:39 PM

Сегодня, Карл Zeiss SMT ввело свою заново начатую рабочую станцию AURIGA™ CrossBeam® (FIB-SEM). Как один из пионеров в начинать этот тип аппаратур, и с больше чем 8 летами опыта FIB-SEM, компания включала огромное число рационализаторств в новом AURIGA.

AURIGA, новое сильно гибкое рабочее место Поперечной балки от Карл Zeiss поставляет информацию за разрешением.

Др. Томас Albrecht, Директор Управление Продукцией, сказал: «Полезное сведение о образце идет изображения поверхности разрешения далеко за как раз высокие. Мы сфокусировали на 2 главных задачах во время развития этой мощной новой аппаратуры: Во-первых, делать возможным анализ никогда-перед-увиденного разнообразия образцов, и во-вторых, позволить клиенты получить максимальную информацию возможную от каждого образца. AURIGA - поставляющ очень больше чем как раз изображение - результат этих поисков.»

Новый проект камеры и уникально система компенсации обязанности для предварительного analytics
Химический анализ, кристаллографическая информация, полное словотолкование, электрическая информация… номер и сложность задач необходимы, что получили обширную характеризацию образца на маштабе нанометра неограниченный, как число и разнообразие образцов. Поэтому, гибкость сусло. Для того чтобы соотвествовать этот, AURIGA имеет вполне переконструированную камеру вакуума, которая теперь включает итог 15 портов для различных детекторов. Дополнительно, непревзойдённая система компенсации обязанности включает местное применение притока инертного газа. В этом путе, нейтрализован электростатический поручать непровоящих образцов и обнаружение вторичных электронов (SE) так же, как backscattered электронов (BSE) будет возможным. Также EDS, EBSD, SIMS и еще многие аналитически методов извлекали пользу эта технология, поддерживая многочисленние применения в анализе материалов, науки о жизни и технологию полупроводника.

Точный обрабатывать образцов уникально воображением
Очень сердце рабочего места CrossBeam® AURIGA доказанная колонка GEMINI® FE-SEM. Свой специальный детектор EsB в-объектива предлагает изображения с превосходным материальным контрастом. Дополнительно, конструкция колонки ДЖЕМИНИ включает анализ магнитных образцов. Характеристика уникально к рабочим местам Поперечной балки от Карл Zeiss одновременный филировать и высокое воображение SEM разрешения. Для того чтобы обеспечить оптимальную работу с клиентом, AURIGA включает новый FIB высок-разрешения с разрешением высшего уровня 2,5 nm и лучшее. Технологический прочесс Предварительного газа для иона и e-луча помог вытравливанию и низложение завершает unequalled возмоности обработки образца этой новой аппаратуры.

Будущ-Конечно путь подъема
Гибкое приспособление к изменять или растущим спросам требование которое совершенно поддержано AURIGA. Начинающ с высокопроизводительный платформой FE-SEM систему можно модернизировать согласно бюджетным потребностям или аналитически потребностям стать польностью оборудованным рабочим местом Поперечной балки, включая колонку FIB, систему впрыски газа, компенсацию обязанности и обширное разнообразие детекторов. AURIGA первоначально можно установить соотвествовать сегодняшние пока, в тоже время, прибавлять на upgradeability для того чтобы отвечать будущие потребностямы с представлением ведущей кромки.

Last Update: 14. January 2012 09:48

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit