Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

卡尔蔡司推出其新开发的AURIGA横梁(FIB - SEM)的工作站

Published on March 25, 2009 at 7:39 PM

如今, 卡尔蔡司SMT推出其新开发的AURIGA™横梁®(FIB - SEM)的工作站。由于在开发这一类的仪器的先驱之一,并与FIB - SEM经验超过8年,该公司将在新的AURIGA数量巨大的创新。

AURIGA,从卡尔蔡司新的高度灵活的横梁工作站提供超出决议的信息。

产品管理总监,阿尔布雷希特,托马斯博士说:“有关样本的有用的信息远远超出了只是高分辨率表面的图像,我们集中在这一强大的新工具的发展上的两大任务:首先,使可能的分析以前从未见过的各种样品,和第二,使客户能够获得最大可能的信息,从每个样品AURIGA - 提供更不仅仅是一个形象 - 是这个任务的结果。“

新的室内设计和独特的电荷补偿系统,先进的分析
化学分析,晶体学信息,完整的形态,电子信息...需要在纳米尺度上获得了广泛的样品表征的任务的数量和复杂性是无限的,作为样品的数量和品种。因此,灵活性是必须的。为了满足这一要求,AURIGA有一个完全重新设计的真空室,现在共有15个不同的探测器的端口。此外,一个无与伦比的电荷补偿系统,实现本地应用程序的一种惰性气体冲洗。这样,非导电样品的静电被中和二次电子(SE),以及背散射电子(BSE)的检测变得可行。 EDS,EBSD技术,Sims和更多的分析方法,从这种技术的优点,支持在分析材料,生命科学和半导体技术的大量应用。

独特的成像样品的精密加工
AURIGA横梁®工作站的心脏,是行之有效的GEMINI ® FE - SEM列。其特殊的镜头ESB探测器提供了极好的材料对比的图像。此外,对GEMINI列的设计,使磁性样品的分析。横梁工作站从卡尔蔡司独特的一个功能是同时进行铣削和高分辨率扫描电镜成像。为了确保最佳的客户支持,AURIGA采用了新的高分辨率的2.5纳米的顶级分辨率和更好的FIB表。先进的气体离子和电子束辅助刻蚀和沉积处理技术完成这种新仪器的无与伦比的样品处理能力。

保证未来的升级路径
灵活适应不断变化和日益增长的需求,是一个完全由AURIGA支持的要求。从一个高性能的平台,系统可以根据预算要求或分析需求升级,成为一个设备齐全的横梁工作站,包括FIB表列,气体喷射系统,负责赔偿和广泛的各种探测器FE - SEM。 AURIGA最初可配置,以满足今天的要求,同时,在同一时间,以便与领先的性能,以满足未来需求的升级。

Last Update: 10. October 2011 09:12

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit