卡爾蔡司介紹其新開發的御夫星座橫梁 (FIB-SEM) 工作區

Published on March 25, 2009 at 7:39 PM

今天,卡爾蔡司 SMT 介紹其新開發的 AURIGA™ CrossBeam® (FIB-SEM) 工作區。 作為其中一個在開發儀器此選件類的先驅和與超過 8 年 FIB-SEM 經驗,這家公司合併創新的一個巨大數目在新的御夫星座的。

御夫星座,從卡爾蔡司的新的高度靈活的橫梁工作區提供在解決方法之外的信息。

托馬斯奧爾布雷克特,主任產品管理博士,說: 「關於範例的有用的信息是更在高分辨率表面圖像之外。 在此強大的新的儀器的發展期間,我們著重二項主要任務: 首先,使分析成為可能範例一個從未在前被看見的種類,和其次,使客戶得到最大信息可能從每個範例。 御夫星座 - 提供更多比圖像 - 是此搜尋的結果」。

新的房間設計和唯一充電報酬系統先進的邏輯分析方法的
化學分析、晶體信息、完全形態學、電子要求的任務的信息…這個編號和複雜得到在毫微米等級的一個廣泛的範例描述特性是無限的,像範例數量和種類。 所以,靈活性是當務之急。 為了符合此要求,御夫星座有一個完全地被重新設計的真空箱,現在包括不同的探測器的總共 15 個端口。 另外,一個無敵的充電報酬系統啟用惰性氣體沖洗的局部應用。 這樣,靜電充電绝緣的範例被中立化,并且二次電子以及 backscattered (SE) 電子 (BSE) 的檢測變得可行。 並且 EDS、 EBSD、 SIMS 和許多分析方法受益於此技術,支持在材料分析的許多應用,生命科學和半導體技術。

準確處理由唯一想像的範例
御夫星座 CrossBeam® 工作區的重點是證明的 GEMINI® FE-SEM 列。 其特殊透鏡 EsB 探測器提供圖像以非常好的物質對比。 另外,雙子星座列的設計啟用對磁性範例的分析。 功能唯一對從卡爾蔡司的橫梁工作區是同時碾碎和高分辨率 SEM 想像。 要保證最佳的客戶支持,御夫星座合併與一個最高級解決方法的一個新的高分辨率小謊 2.5 毫微米和更好。 先進的離子和 e 射線的氣體加工技術協助解決蝕刻,并且證言完成此新的儀器的無與倫比的範例加工能力。

遠期確定升級路徑
對更改或擴大需求的靈活的適應是御夫星座完全支持的要求。 開始從一個高性能 FE-SEM 平臺這個系統可以根據預算需要或分析需要成為被升級一個全副武裝的橫梁工作區,包括小謊列、氣體注射系統、充電報酬和探測器一個廣泛的種類。 當,同時,请允許提高能力適應與前進性能時的將來的需要可以最初配置御夫星座符合今天要求。

Last Update: 24. January 2012 12:55

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