Heute KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) eingeführt dem TeraScanXR, hochauflösende Fadenkreuz-, Antennen- und Waferflugzeuginspektionsfähigkeit zum Knotenpunkt 32nm holend. Dieses neue Hilfsmittel, eine Erweiterung von existierenden TeraScan-Fadenkreuzkontrollsystemen, wird konstruiert, um die dispositioning Empfindlichkeit der Maskenhersteller, niedrigere Kosten-proinspektion und schnellere die Maske besser zur Verfügung zu stellen. Darüber hinaus ist das TeraScanXR das einzige Fadenkreuzinspektionshilfsmittel auf dem Markt, zum des ganzen Satzes der Inspektionsflugzeuge zu liefern: Inspektion Fadenkreuzflugzeug der hohen Auflösung (RPI), zum von Prozessdefekten während der Entwicklung und der Herstellung zu erfassen; Luft-flugzeug Inspektion (API), zum von bestimmten nicht ausdruckenden Defekten herauszufiltern; und Waferflugzeug Inspektion (WPI), zum vorauszusagen, welches Fadenkreuz sich absetzt, druckt auf dem Wafer.
„Das Beseitigen von bedruckbaren Defekten in der Herstellung von Sets der Maske 32nm-node benötigt ein Inspektionshilfsmittel mit mehrfachen Fähigkeiten,“ kommentierter Brian Haas, Vizepräsident und Generaldirektor vom Fadenkreuz und von der Fotomasken-Inspektions-Abteilung bei KLA-Tencor. „Maskenhersteller benötigen flexible, hohe Produktivität, setzt sich die hohe Empfindlichkeitsinspektion, zum alle zu erfassen notwendiges für Verfahrensentwicklung und Regelung ab. Sie müssen auch kennen, welches dieser Defekte auf einem Wafer druckt, also können sie auf die Reparatur sich konzentrieren und das Überprüfen nur das bedruckbare Defekt-und ihre Maskensets zu erhalten versendete schnell. Nur KLA-Tencor verkauft ein Fadenkreuzkontrollsystem mit hoher Auflösung und der Fähigkeit, Defektdruckfähigkeit einzuschätzen. Wir bieten diese Anlage als neues Hilfsmittel an, oder als Verbesserung zu unserer breit eingebauten TeraScan-Produktlinie, Maskensysteme kann sicherzustellen den effizientsten Gebrauch von ihrem Kapital machen.“
Die TeraScanXR-Fadenkreuz-Kontrollsystemmerkmale ändert zu den Optik, zur Elektronik, zu den Algorithmen und zum Computer, die Gesamtempfindlichkeit verbessern, um Bedingungen 32nm zu erfüllen. Belästigungsbefunde, wie Defekte, die aus Varianten auf Vorlagenzellen sich ergeben, können herabgesetzt werden, ohne Empfindlichkeit zu opfern. Eine erhebliche Durchsatzverbesserung macht TeraScanXR bis drei mal die Drehzahl seines Vorgängers, TeraScanHR, mit dem Ergebnis der niedrigeren Kosten-proinspektion und des Aktivierens eines Maskensets, zu dem tollen in einer kürzeren Zeit versendet zu werden.
Zusätzlich zum Sein die einzige Gesamtflugzeug Wartungsbühne, TeraScan ist die einzige Fadenkreuzwartungsbühne, die konstruiert wird, um Defekt Druckfähigkeit-gedankenlos der Musterdichte genau vorauszusagen. API, wie auf TeraScanXR und anderen Inspektionshilfsmitteln eingeführt, verringert bestimmte Baumuster von ` Belästigung' Defekte, aber TeraScans WPI ist erforderlich, die Druckfähigkeit von Defekten innerhalb der dichten Muster richtig zu bestimmen. Beugungseffekte veranlassen diese Defekte, vergrößert zu werden mehr als ihre Kollegen in spärlich kopierten Bereichen.
Großes Interesse in der TeraScanXR-Anlage hat einige Ordnungen aus den führenden Kaufmanns- und Gefangenmaskenherstellern in Asien und in den Vereinigten Staaten ergeben. Als Verbesserung auf der industriekompatiblen TeraScan-Plattform, die mehrfachen Einbau in jedem bedeutenden Maskensystem sich weltweit rühmt, bietet TeraScanXR die kosteneffektivsten Mittelwerte an, Empfindlichkeit 32nm für alle Fadenkreuzinspektionsanwendungen zu erreichen.