Aujourd'hui, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ : KLAC) introduit le TeraScanXR, portant la capacité à haute résolution d'inspection de réticule, d'antenne et de disque-plan au noeud 32nm. Cet outil neuf, une extension des systèmes de contrôle existants de réticule de TeraScan, est conçu pour fournir la sensibilité de constructeurs de masque mieux, la coût-selon-inspection inférieure et le masque plus rapide dispositioning. De plus, le TeraScanXR est le seul outil d'inspection de réticule sur le marché pour fournir l'ensemble complet de plans d'inspection : inspection de haute résolution de réticule-plan (RPI) pour capturer les défauts de processus pendant le développement et la fabrication ; inspection d'aérien-plan (API) pour filtrer à l'extérieur certains défauts non imprimants ; et l'inspection de disque-plan (WPI) pour prévoir quel réticule déserte estampera sur le disque.
La « Élimination des défauts imprimables à la fabrication des positionnements du masque 32nm-node exige un outil d'inspection avec des capacités multiples, » Brian Haas commenté, vice président et directeur général du Réticule et de la Division d'Inspection de Photomask chez KLA-Tencor. Les « générateurs de Masque ont besoin de productivité flexible et élevée, l'inspection élevée de sensibilité pour capturer toute déserte nécessaire pour le développement de processus et le contrôle. Ils doivent également savoir lesquels de ces défauts estamperont sur un disque, ainsi elles peuvent se concentrer sur réparer et la vérification seulement de l'imprimable défaut-et obtenir leurs positionnements de masque s'est transportée plus rapidement. Seulement KLA-Tencor vend un système de contrôle de réticule avec la haute résolution et la capacité d'évaluer l'imprimabilité de défaut. Nous offrons ce système comme outil neuf ou comme mise à jour à notre ligne de produits largement installée de TeraScan, assurer des ateliers de masque peut effectuer l'utilisation la plus efficace de leurs capitaux. »
Les fonctionnalités du système d'inspection de réticule de TeraScanXR change en les blocs optiques, l'électronique, les algorithmes et l'ordinateur qui améliorent la sensibilité générale pour répondre aux besoins 32nm. Des dépistages de Gêne, tels que des défauts résultant des variations sur des structures d'aide, peuvent être réduits à un minimum sans sacrifier la sensibilité. Une amélioration substantielle de débit effectue TeraScanXR jusqu'à trois fois la vitesse de son prédécesseur, TeraScanHR, ayant pour résultat la coût-selon-inspection inférieure et de permettre à un positionnement de masque d'être expédié à l'ouvrier dans plus peu de temps.
En plus d'être la seule plate-forme d'inspection de tout-plan, TeraScan est la seule plate-forme d'inspection de réticule conçue pour prévoir exactement l'imprimabilité-sans se soucier de défaut de la densité de configuration. L'API, comme mis en application sur TeraScanXR et d'autres outils d'inspection, réduit certains types défauts de ` de gêne des', mais le WPI de TeraScan est nécessaire pour déterminer correctement l'imprimabilité des défauts dans les configurations denses. Des effets de Diffraction causent ces défauts d'être magnifiés plus que leurs homologues dans des zones peu abondamment modelées.
L'Intérêt prononcé dans le système de TeraScanXR a résulté en plusieurs commandes des principaux constructeurs de masque du négociant et de captif en Asie et aux Etats-Unis. Comme mise à jour sur la plate-forme industriellement compatible de TeraScan, qui revendique les installations multiples dans chaque atelier principal de masque mondial, TeraScanXR offre les moyens les plus rentables d'atteindre la sensibilité 32nm pour toutes les applications d'inspection de réticule.