오늘날, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) 32nm 마디에 고해상도 대물경선망, 공중선 및 웨이퍼 비행기 검사 기능을 가져오는 TeraScanXR이라고 소개되는. 이 새로운 도구, 존재 TeraScan 대물경선망 검열제도의 연장은, dispositioning 가면 제조자 감도, 더 낮은 비용 당 검사 및 더 단단 가면을 잘 제공하기 위하여 디자인됩니다. 추가적으로, TeraScanXR는 검사 비행기의 완전한 세트를 공급하는 시장에 유일한 대물경선망 검사 공구 입니다: 발달과 제조 (RPI) 도중 가공 결점을 붙잡는 고해상 대물경선망 비행기 검사; 특정 인쇄 불가 (API) 결점을 제거하는 공중 비행기 검사; 그리고 어느 대물경선망이 (WPI) 배반하는지 예상하는 웨이퍼 비행기 검사는 웨이퍼에 인쇄할 것입니다.
"32nm 마디 가면 세트의 제조에 있는 인쇄할 수 있는 결점을 삭제하는 것은 다중 기능에 검사 공구를," 논평한 Brian Haas, 부사장과 KLA-Tencor에 대물경선망 그리고 Photomask 검사 부분의 총관리인 요구합니다. "가면 제작자는 유연하고, 높은 생산력을 필요로 합니다, 모두를 붙잡는 높은 감도 검사는 공정개발 및 통제에 필요한 배반합니다. 그(것)들은 또한 이들중 어느쪽의 결점이 웨이퍼에 인쇄할 것이다 알 필요가 있습니다, 그래서 고치기에 집중해서 좋 단지 인쇄할 수 있던 것 검증하는 것은 결점 및 그들의 가면 세트를 얻기 위하여 더 급속하게 발송했습니다. KLA-Tencor만 결점 인쇄 적성을 평가하는 고해상과 기능 둘 다를 가진 대물경선망 검열제도를 판매합니다. 우리는 새로운 도구로 이 시스템을 제안하고 있습니다 또는 우리의 넓게 설치된 TeraScan 제품라인에 향상으로, 가면 상점을 지키는 것은 그들 자본의 능률적인 사용을 만들 수 있습니다."
32nm 요구에 응하기 위하여 전반적인 감도를 향상하는 TeraScanXR 대물경선망 검열제도 광학에 변경을, 전자공학, 산법 및 컴퓨터는 특색짓습니다. 지원 구조물에 변이에서 발생하는 결점과 같은 불쾌 탐지는 감도 희생 없이 극소화될 수 있습니다. 상당한 처리량 개선은 더 낮은 비용 당 검사 및 가면 세트를 짧은 시간에서 놀라우 것에 발송되는 가능하게 하기의 결과로 그것의 전임자의 속도 배 TeraScanXR 3까지, TeraScanHR를, 만듭니다.
유일한 모든 비행기 검사 플래트홈, TeraScan인 이외에 정확하게 패턴 조밀도의 결점 인쇄 적성 관계없이를 예상하기 위하여 디자인된 유일한 대물경선망 검사 플래트홈은 입니다. TeraScanXR와 그밖 검사 공구에 실행되는 것과 같이 API는, ` 불쾌의 특정 모형을' 결점 감소시킵니다, 그러나 TeraScan의 WPI는 필요합니다 제대로 조밀한 패턴 내의 결점의 인쇄 적성을 결정하기 위하여. 에돌이 효과는 이 결점이 부족하게 모방한 지역에 있는 그들의 카운터파트 보다는 더 많은 것이라고 확대되는 원인이 됩니다.
TeraScanXR 시스템에 있는 깊은 관심은 아시아와 미국에 있는 주요한 상인과 포로 가면 제조자에서 몇몇 명령 귀착되었습니다. 각 중요한 가면 상점에 있는 다중 임명을 세계전반 자랑하는 TeraScan 산업 표준 플래트홈에 향상으로, TeraScanXR는 모든 대물경선망 검사 응용을 위한 32nm 감도를 달성하는 비용 효과적인 방법을 제안합니다.