Vandaag, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) geïntroduceerd TeraScanXR, brengend high-resolution dradenkruis, lucht en wafeltje-vlakke inspectievermogen aan de 32nm knoop. Dit nieuwe hulpmiddel, een uitbreiding van de bestaande TeraScan systemen van de dradenkruisinspectie, wordt ontworpen om de betere gevoeligheid van maskerfabrikanten, lagere kosten-per-inspectie en het snellere masker dispositioning te verstrekken. Bovendien is TeraScanXR het enige hulpmiddel van de dradenkruisinspectie op de markt om de volledige reeks inspectievliegtuigen te leveren: hoge resolutie dradenkruis-vlakke inspectie (RPI) om procestekorten tijdens ontwikkeling en productie te vangen; lucht-vlakke inspectie (API) om bepaalde niet-drukt tekorten uit te filtreren; en wafeltje-vlakke inspectie (WPI) om te voorspellen welke dradenkruistekorten op het wafeltje zullen afdrukken.
„Het Elimineren van geschikt om gedrukt te worden tekorten in de productie van 32nm-knoop maskerreeksen vereist een inspectiehulpmiddel met veelvoudige mogelijkheden,“ becommentarieerde Brian Haas, ondervoorzitter en algemene manager van het Dradenkruis en de Afdeling van de Inspectie Photomask in KLA-Tencor. De „makers van het Masker hebben flexibele, hoge productiviteit, hoge gevoeligheidsinspectie nodig om alle tekorten te vangen noodzakelijk voor procesontwikkeling en controle. Zij moeten ook weten welke van deze tekorten op een wafeltje zal afdrukken, zodat kunnen zich zij op het herstellen van en het verifiëren van slechts geschikt om gedrukt te worden concentreren tekort-en hun maskerreeksen verscheept sneller krijgen. Slechts KLA-Tencor een systeem van de dradenkruisinspectie met zowel hoge resolutie als de capaciteit verkoopt om tekortgeschiktheid tot drukken te beoordelen. Wij bieden dit systeem als nieuw hulpmiddel aan of als verbetering aan onze wijd geïnstalleerde TeraScan productlijn, maskerwinkels kan verzekeren het meest efficiënte gebruik van hun kapitaal maken.“
De TeraScanXR het systeemeigenschappen van de dradenkruisinspectie verandert in de optica, de elektronika, de algoritmen en de computer die algemene gevoeligheid verbeteren om 32nm aan vereisten te voldoen. De opsporingen van de Last, zoals tekorten die van variaties het gevolg zijn staan structuren bij, kunnen worden geminimaliseerd zonder gevoeligheid te offeren. Een wezenlijke de productieverbetering maakt TeraScanXR tot drie keer de snelheid van zijn voorganger, TeraScanHR, resulterend in lagere die kosten-per-inspectie en toelatend een masker wordt geplaatst om aan fab in een kortere tijd worden verscheept.
Naast het zijn het enige alle-vlakke inspectieplatform, is TeraScan het enige die platform van de dradenkruisinspectie wordt ontworpen om tekort met patroondichtheid geschiktheid tot drukken-hoe dan ook nauwkeurig te voorspellen. API, zoals die op TeraScanXR en andere inspectiehulpmiddelen wordt uitgevoerd, vermindert bepaalde soorten ` last' tekorten, maar WPI van TeraScan is nodig om de geschiktheid tot drukken van tekorten binnen dichte patronen behoorlijk te bepalen. De gevolgen van de Diffractie veroorzaken dat deze tekorten worden overdreven meer dan hun tegenhangers op dun gevormde gebieden.
De Levendige belangstelling voor het systeem TeraScanXR heeft in verscheidene orden van de belangrijke koopvaardij en gevangen maskerfabrikanten in Azië en de Verenigde Staten geresulteerd. Als verbetering op het industrie-standaardplatform TeraScan, dat veelvoudige installaties wereldwijd in elke belangrijke maskerwinkel opschept, biedt TeraScanXR de rendabelste middelen aan om 32nm gevoeligheid voor alle toepassingen van de dradenkruisinspectie te bereiken.