Hoje, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) introduzido o TeraScanXR, trazendo a capacidade de alta resolução da inspecção do retículo, da antena e do bolacha-plano ao nó 32nm. Esta nova ferramenta, uma extensão de sistemas de inspecção existentes do retículo de TeraScan, é projectada fornecer melhor a sensibilidade dos fabricantes da máscara, uma mais baixa custo-por-inspecção e a máscara mais rápida dispositioning. Além, o TeraScanXR é a única ferramenta da inspecção do retículo no mercado para fornecer o grupo completo de planos da inspecção: inspecção de alta resolução do retículo-plano (RPI) para capturar defeitos do processo durante a revelação e a fabricação; inspecção do aéreo-plano (API) para filtrar para fora determinados defeitos da não-impressão; e a inspecção do bolacha-plano (WPI) para prever que retículo defects imprimirá na bolacha.
“Eliminar defeitos imprimíveis na fabricação de grupos da máscara 32nm-node exige uma ferramenta da inspecção com capacidades múltiplas,” Brian comentado Haas, vice-presidente e director geral do Retículo e da Divisão da Inspecção do Photomask em KLA-Tencor. Da “os fabricantes Máscara precisam a produtividade flexível, alta, a inspecção alta da sensibilidade para capturar toda defects necessário para a revelação e o controle de processo. Igualmente precisam de conhecer qual destes defeitos imprimirá em uma bolacha, assim que pode centrar-se sobre a reparação e verificar somente o imprimível defeito-e para obter seus grupos da máscara enviou mais ràpida. Somente KLA-Tencor vende um sistema de inspecção do retículo com alta resolução e a capacidade avaliar o printability do defeito. Nós estamos oferecendo este sistema como uma nova ferramenta ou como uma elevação a nossa linha de produtos extensamente instalada de TeraScan, assegurar lojas da máscara pode fazer o uso o mais eficiente de seu capital.”
As características de sistema de inspecção do retículo de TeraScanXR mudam aos sistemas óticos, à eletrônica, aos algoritmos e ao computador que melhoram a sensibilidade total para cumprir as exigências 32nm. As detecções do Incômodo, tais como os defeitos que elevaram das variações em estruturas da assistência, podem ser minimizadas sem sacrificar a sensibilidade. Uma melhoria substancial da produção faz TeraScanXR até três vezes a velocidade de seu antecessor, TeraScanHR, tendo por resultado uma mais baixa custo-por-inspecção e uma possibilidade de um grupo da máscara ser enviado ao fabuloso em uma estadia mais curto.
Além do que ser a única plataforma da inspecção do todo-plano, TeraScan é a única plataforma da inspecção do retículo projetada prever exactamente o printability-de qualquer maneira do defeito da densidade do teste padrão. O API, como executado em TeraScanXR e em outras ferramentas da inspecção, reduz determinados tipos defeitos do incômodo do `', mas o WPI de TeraScan é necessário determinar correctamente o printability dos defeitos dentro dos testes padrões densos. Os efeitos de Difracção fazem com que estes defeitos sejam ampliados mais do que suas contrapartes em áreas escassa modeladas.
O Grande interesse no sistema de TeraScanXR conduziu a diversos pedidos dos fabricantes principais da máscara do comerciante e do cativo em Ásia e nos Estados Unidos. Como uma elevação na plataforma de TeraScan do padrão do sector, que se vangloria das instalações múltiplas em cada loja principal da máscara no mundo inteiro, TeraScanXR oferece os meios os mais eficazes na redução de custos alcançar a sensibilidade 32nm para todas as aplicações da inspecção do retículo.