Сегодня, KLA-Tencor Корпорация (NASDAQ: Введенное KLAC) TeraScanXR, принося возможность осмотра перекрещения высок-разрешения, антенны и вафл-плоскости к узлу 32nm. Этот новый инструмент, выдвижение существуя систем контроля перекрещения TeraScan, конструирован для того чтобы обеспечить чувствительность изготовлений маски более лучше, более низкий цен-в-осмотр и более быструю маску dispositioning. В добавлении, TeraScanXR единственный инструмент осмотра перекрещения на рынке для того чтобы поставить полный набор плоскостей осмотра: высокий осмотр перекрещени-плоскости разрешения (RPI) для того чтобы захватить отростчатые дефекты во время развития и изготавливания; осмотр воздушн-плоскости (API) для того чтобы фильтровать вне некоторые дефекты non-печатания; и осмотр вафл-плоскости (WPI) для того чтобы предсказать которое перекрещение изменяет напечатает на вафле.
«Исключать printable дефекты в изготавливании комплектов маски 32nm-node требует инструмента осмотра с множественными возможностями,» прокомментированное Брайан Haas, недостаток - президент и генеральный директор Перекрещения и Разделения Осмотра Photomask на KLA-Tencor. «Создателям Маски нужна гибкая, высокая урожайность, высокий осмотр чувствительности для того чтобы захватить все изменяет необходимое для отростчатого развития и управления. Им также нужно знать чточто из этих дефектов напечатает на вафле, поэтому они могут сфокусировать на ремонтировать и проверка только printable дефект-и получить их комплекты маски грузила более быстро. Только KLA-Tencor продает систему контроля перекрещения как с высоким разрешением, так и с способностью определить printability дефекта. Мы предлагаем эту систему как новый инструмент или как подъем к нашей широко установленной номенклатуре товаров TeraScan, обеспечить магазины маски может сделать большинств рациональное использование их столицы.»
Характеристики системы контроля перекрещения TeraScanXR изменяют к оптике, электронике, алгоритмам и компьютеру которая улучшают общую чувствительность для того чтобы соотвествовать 32nm. Обнаружения Досады, как дефекты возникая от изменений на структурах голевой передачи, можно уменьшить без жертвовать чувствительность. Существенное улучшение объём делает TeraScanXR до 3 раз скорость своей предшественницы, TeraScanHR, приводящ к в более низком цен-в-осмотре и позволяющ комплект маски быть погруженным к сказочный в короткийе срок.
В дополнение к быть единственной платформой осмотра вс-плоскости, TeraScan единственная платформа осмотра перекрещения конструированная точно для того чтобы предсказать printability-независимо дефекта плотности картины. API, как снабжено на TeraScanXR и других инструментах осмотра, уменьшает некоторые типы дефекты досады `', но WPI TeraScan необходимо правильно для того чтобы определить printability дефектов внутри плотные картины. Влияния Огибания причиняют эти дефекты быть увеличиванным больше чем их двойники в sparsely сделанных по образцу областях.
Большой интерес в системе TeraScanXR приводил к в нескольких заказов от ведущих изготовлений маски купечества и пленника в Азии и Соединенные Штаты. Как подъем на платформе TeraScan индустриального стандарта, которая похваляется множественные установки в каждый главный магазин маски всемирно, TeraScanXR предлагает самые рентабельные середины достигнуть чувствительности 32nm для всех применений осмотра перекрещения.