I Dag KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) som introduceras TeraScanXRen som kommer med reticlen med hög upplösning, antenn och rån-plan kontrollkapacitet till knutpunkten 32nm. Detta nytt bearbetar, en f8orlängning av existerande system för TeraScan reticlekontroll, planläggs att ge maskerar den bättre känsligheten för producenter, lägre kosta-per-kontroll och maskerar snabbare dispositioning. I tillägg är TeraScanXRen den enda reticlekontrollen bearbetar på marknadsföra för att leverera den färdiga uppsättningen av kontroll hyvlar: hoppar av reticle-plan kontroll för kick (RPI)upplösning till det processaa tillfångatagandet under utveckling och fabriks-; antenn-plan kontroll (API) som ut filtrerar bestämd non-printing, hoppar av; och rån-plan kontroll (WPI) som förutsäger, vilken reticle hoppar av, ska trycket på rånet.
”Hoppar av Att Avlägsna som är tryckbart, i det fabriks- av 32nm-node maskerar uppsättningar kräver en kontroll bearbetar med multipelkapaciteter,” kommenterade Brian Haas, vicepresidentet och den allmänna chefen av Reticlen och PhotomaskKontrollUppdelningen på KLA-Tencor. ”Maskera böjligt tillverkarebehov, kickproduktivitet, hoppar av kontrollerar kickkänslighetsall kontroll till tillfångatagandet nödvändigt för processaa utveckling och. De behöver också att veta vilket av dessa hoppar av det ska trycket på ett rån, så de kan fokusera på att reparera, och verifiera endast det tryckbart hoppa av-och att få deras maskera uppsättningar sände snabbare. Endast KLA-Tencor säljer ett reticlekontrollsystem med både kickupplösning, och kapaciteten att bedöma hoppar av printability. Vi erbjuder att detta system, som ett nytt bearbetar, eller som en förbättring till vår brett installerade TeraScan produkt fodrar, ska se till maskerar shoppar kan göra det effektivaste bruket av deras huvudstad.”,
Systemet för TeraScanXR reticlekontroll presenterar ändringar till optiken, elektronik, algoritmer och datoren som förbättrar total- känslighet för att möta krav 32nm. Otygupptäckter, liksom hoppar av att uppstå från variationer på hjälp strukturerar, kan minimeras, utan att offra känslighet. En verklig genomgångsförbättring gör TeraScanXR upp till tre tider rusa av dess föregångare, TeraScanHR och att resultera i lägre kosta-per-kontroll och möjliggöra en maskerauppsättning som ska sänds till det fab i en kortare tid.
Förutom att vara den enda all-plana kontrollplattformen, TeraScan är den enda reticlekontrollplattformen som planläggs exakt för att förutsäga, hoppar av printability-utan hänsyn av mönstrar täthet. API, som genomfört på TeraScanXR och annan kontroll bearbetar, förminskar bestämda typer av `-otyg' hoppar av, bara TeraScans WPI är nödvändiga riktigt att bestämma printabilityen av hoppar av inom tätt mönstrar. Diffraction verkställer orsakar dessa hoppar av för att förstoras mer än deras motstycken i glest mönstrade områden.
Starkt intressera i det TeraScanXR systemet har resulterat i flera beställer från den ledande köpmannen, och fångenen maskerar producenter i Asien och Förenta staterna. Som en förbättring på denstandarda TeraScan plattformen som skryter, ha som huvudämne multipelinstallationer i varje maskerar shoppar över hela världen, TeraScanXR erbjuder att det kosta-effektivaste hjälpmedlet ska nå fram till känsligheten 32nm för alla reticlekontrollapplikationer.