Ngayon, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) ipinakilala TeraScanXR, na nagdadala ng mataas na resolution retikl-, himpapawid at apa-eroplano inspeksyon kakayahan sa 32nm node. Ang bagong tool, isang extension ng mga umiiral na TeraScan retikl inspeksyon sistema, ay dinisenyo upang magbigay ng mga tagagawa mask mas mahusay na sensitibo, mas mababang cost-per-inspeksyon at mas mabilis mask dispositioning. Sa karagdagan, TeraScanXR ay ang tanging retikl tool ng inspeksyon sa merkado sa supply ang kumpletong hanay ng mga eroplano ng inspeksyon: mataas na retikl resolution-eroplano inspeksyon (RPI) upang makuha ang mga depekto sa proseso habang unlad at pagmamanupaktura; himpapawid-inspeksyon ng eroplano (API) upang i-filter out sa ilang mga di-pag-print depekto, at tinapay na manipis-eroplano inspeksyon (WPI) sa mahuhulaan kung aling mga depekto ng retikl ang print sa ang ostiya.
"Aalis ng mga nalilimbag na mga depekto sa pagmamanupaktura ng mga 32nm-node mga hanay ng mask ay nangangailangan ng isang inspeksyon kasangkapan na may maramihang mga kakayahan," komento Brian Haas, vice president at general manager ng retikl at Photomask Inspection Division sa KLA-Tencor. "Mask gumagawa kailangan nababaluktot, mataas na produktibo, ang mataas na sensitibo inspeksyon upang makuha ang lahat ng mga depekto na kinakailangan para sa proseso ng pagbuo at control. Kailangan din nila malaman kung alin sa mga depekto ay print sa isang ostiya, kaya maaari nilang tumutok sa repairing at verify lamang ang napi-print na mga depekto at makakuha ng kanilang mask set naipadala mas mabilis. Tanging KLA-Tencor ay nagbebenta ng isang retikl sistema ng inspeksyon sa parehong mataas na resolution at ang kakayahan upang masuri ang depekto printability. Inaalok namin ng system na ito bilang isang bagong tool o bilang isang mag-upgrade sa aming malawak na-install ang TeraScan produkto linya, upang matiyak na ang mga tindahan mask ay maaaring gawin ang mga pinaka-mahusay na paggamit ng kanilang capital. "
Ang sistema ng inspeksyon TeraScanXR retikl tampok ng mga pagbabago sa ang optika, electronics, mga algorithm at computer na kung saan mapabuti ang pangkalahatang sensitibo upang matugunan 32nm kinakailangan. Istorbo detections, tulad ng mga depekto na nagbubuhat mula sa mga pagkakaiba-iba sa mga tulungan kaayusan, maaari minimize nang walang sacrificing sensitibo. Isang matibay na pagpapabuti throughput ay ginagawang TeraScanXR hanggang sa tatlong beses ang bilis ng nito hinalinhan, TeraScanHR, na nagreresulta sa mas mababang cost-per-inspeksyon at pagpapagana ng isang mask na set na naipadala sa fab sa isang mas maikling oras.
Bilang karagdagan sa pagiging ang tanging lahat-ng-platform ng inspeksyon ng eroplano, ang TeraScan ay ang tanging retikl inspeksyon platform dinisenyo tumpak na hulaan ang depekto printability-alintana ng pattern density. API, tulad ng ipinapatupad sa TeraScanXR at iba pang mga gamit ng inspeksyon, binabawasan ang ilang mga uri ng 'istorbo' na mga depekto, ngunit TeraScan ng WPI ay kinakailangan upang maayos na matukoy ang printability ng depekto sa loob ng siksikan pattern. Pagdidiprakt epekto ay sanhi ang mga depekto na ito sa Pinalaking higit pa kaysa sa kani-kanilang mga counterparts sa sparsely patterned lugar.
Ang malakas na interes sa sistema ng TeraScanXR ay nagresulta sa ilang mga order mula sa mga nangungunang merchant at bihag mask tagagawa sa Asya at Estados Unidos. Bilang isang mag-upgrade sa sa industriya-standard na TeraScan platform, na boasts ng maramihang mga gusali sa bawat pangunahing tindahan ng mask sa buong mundo, nag-aalok ng TeraScanXR ang pinaka cost-effective na paraan upang makuha ang 32nm na sensitibo para sa lahat ng retikl application inspeksyon.