今天， KLA - Tencor公司（纳斯达克股票代码：KLAC）介绍TeraScanXR，32nm节点带来高分辨率的光罩，空中和晶圆平面检测能力。这个新工具，现有TeraScan光罩检测系统的延伸，目的是提供更好的灵敏度，降低每次检查的费用，更快的面具dispositioning面具制造商。此外，TeraScanXR是市场上唯一的光罩检测工具，提供一套完整的检查飞机：高分辨率光罩平面检测（RPI）在开发和制造过程中的缺陷捕捉，空中飞机检查（API），来过滤出某些非印刷缺陷及晶片平面检测（WPI）预测哪些光罩缺陷将在晶圆上打印。
“消除在制造的32nm节点掩膜集可打印缺陷，需要一个具有多种功能的检查的工具，评论，光罩的KLA - Tencor光罩检测部副总裁兼总经理布赖恩哈斯。” “面具制造商需要灵活，生产效率高，灵敏度高，检测捕获进程的发展和控制所必需的所有缺陷。他们还需要知道这些缺陷，它将打印，每片晶圆生产，使他们可以集中精力修复和验证可打印缺陷，并得到他们的面具集运更迅速。只有KLA - Tencor的销售光罩检测系统，具有高分辨率和能力评估缺陷的印刷适性。我们提供一个新的工具或作为我们广泛安装的TeraScan产品线的升级系统，以确保面具商店，可以最有效地利用其资本。“
TeraScanXR光罩检测系统的功能改变的光学，电子，算法和计算机，从而提高整体的灵敏度，以满足32nm的要求。滋扰的检测，如协助结构上的变化所产生的缺陷，可以尽量减少不牺牲灵敏度。吞吐量大幅改善，使得TeraScanXR其前身的TeraScanHR速度的三倍，导致较低的成本每检查和有利的设置要在较短的时间运到工厂口罩。
除了唯一的所有平面的检测平台，TeraScan是唯一光罩检测平台，旨在准确地预测缺陷的印刷适性，无论图案密度。的API，TeraScanXR和其他检验工具的实施，降低某些类型的“滋扰”的缺陷，但TeraScan的WPI的是需要正确确定在密集模式的缺陷的印刷适性。衍射效应导致这些缺陷被放大，多在人口稀少图案的地区对口。
在TeraScanXR系统中的浓厚的兴趣，导致在领先的商人和圈养面具制造商在亚洲和美国的几个订单。作为一个行业标准的TeraScan平台，它拥有多个安装在每一个主要的全球光罩厂升级，TeraScanXR提供最具成本效益的方法，实现所有光罩检测应用的32nm灵敏度。