KLA - Tencor社（NASDAQ：KLAC）は本日、次世代のin - situプラズマエッチングウェーハ温度測定製品、EtchTemp SensorWafer™をリリースしました。 KLA - Tencorのセンサレー部門から最新SensorWaferは、EtchTempは、生産ウェーハ上のプロセスの環境の影響をキャプチャし、確実に65nmプロセスノードと下で増殖ハイパワー、高周波エッチングのレシピを特徴づけるためにユニークな新機能を提供しています。
EtchTemp SensorWaferは大幅に増加し、プロセスの測定機能によって、さらに、視覚化、診断、およびそれらのプロセスやプロセスツールを制御するためのエッチングエンジニアを可能にします。拡張機能は次のとおりです。
- 最大7kW合計無線周波数（RF）電力と、任意の原子炉で使用するためのRF耐性の
- プロセスレシピやツール/ロボットの設定を変更することなくデータを収集する能力
- 32ウェーハエッジを10mm内センサー、および60％を提供することで強化された空間分解能は、半径方向のカバレッジを増加
"エッチエンジニアのための重要な課題の一つは、今日は全体のツールセット全体で一貫したパフォーマンスを達成するためにチャンバをマッチングしています。さらに、より小さい加工の窓がチャンバーはそれが難しくCpkの（工程能力）の目標を達成することは困難、とより高いRFパワーのレシピに一致するように、"ラリーワグナー、シニアバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャーのセンサレー部門は言った。 "この新しいツールを使用すると、エッチングエンジニアは重要なエッチングプロセスのデータだけでなく、現在市場に出回っているすべてのチャンバーのためのRF電力と周波数の全範囲を特徴づけるために能力をキャプチャするための正確で信頼できる手段を持つことになります。"
PlasmaSuiteソフトウェアパッケージでサポートされているEtchTemp SensorWaferは、、チャンバマッチング、ポスト午後の資格、トラブルシューティング、およびプロセス開発のために特別に設計されています。増加したウェーハエッジの解像度を可能にする65の温度センサー;すべての電子機器が完全に解決される薄い1.2ミリメートルのプロファイルを可能にする、シリコン基板内に包まれて、これらのアプリケーションのための主な機能は、高RF電力だけでなく、全ての周波数及び原子炉の設計における正確な温度測定を可能にする高度なRFシールドを、含まれています工具のクリアランスの問題、および高度な製造プロセスは、信頼性の向上と耐久性をもたらします。
プラズマエッチング温度のEtchTempの高精度測定では、エンジニアは様々なレシピの手順だけでなく、チャンバーからチャンバーの変動への動的応答に関する情報を得る、以前は利用できなかったデータにアクセスできるようになります。 EtchTempによってキャプチャされたデータは、ツールを修飾し、チャンバーの健康を確保するために機器のエンジニアが使用することができます。
現在、EtchTempは、現在の半導体市場での唯一の製品です。 EtchTempは、リピートオーダーがそれらのそれぞれから受信されると、三大エッチングOEMベンダーだけでなく、主要なメモリIDMの会社での生産はすでに使用されています。