TOK rejoint SEMATECH Résistez Matériaux et Centre de développement au UAlbany NanoCollege

Published on April 29, 2009 at 8:38 AM

SEMATECH , un consortium mondial de fabricants de puces, et Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd (TOK), un important fabricant de résines photosensibles, a annoncé aujourd'hui que TOK a rejoint SEMATECH Résistez Matériaux et Centre de Développement (RMDC) au Collège de Nanoscale Science and Engineering (CNSE) de l'Université d'Albany.

La mission de la RMDC est de développer et de matériaux pour résister à 22 nm et des technologies de motifs au-delà, et se compose de deux ultraviolets extrêmes (EUV) la capacité d'exposition et d'un portefeuille de programmes de recherche parrainée par l'université. TOK feront équipe avec des chercheurs de SEMATECH pour développer et démontrer des matériaux EUV et résiste pour une utilisation au niveau du nœud 22 nm et au-delà.

«Nous sommes heureux d'accueillir TOK en tant que membre, et nous sommes persuadés que cette collaboration va nous aider à construire sur l'excellent travail que les chercheurs de lithographie SEMATECH ont entrepris de conduire le développement de la résistance et des matériaux qui sont essentiels pour la poursuite des progrès dans le secteur manufacturier», a déclaré John Warlaumont, vice-président des technologies de pointe au SEMATECH. «Ce nouveau partenariat est le dernier exemple de l'effort continu de SEMATECH pour créer des options flexibles de participation qui permettra des partenariats plus larges et plus profondes pour le développement des matériaux avancés."

«L'effort essentiel pour développer et commercialiser la technologie EUVL pour la fabrication de dispositifs nanoélectroniques avenir sera renforcée par l'ajout de Tokyo Ohka Kogyo à SEMATECH Résistez Matériaux et Centre de développement au CNSE de Albany NanoTech,» a déclaré Richard Brilla, vice-président CNSE de la stratégie, alliances et des consortiums. «Ce nouveau partenariat permettra à d'autres capacités de pointe à la NanoCollege UAlbany, en s'appuyant sur le leadership mondial de l'État de New York dans l'éducation des nanotechnologies, la recherche et le développement, économique et de sensibilisation."

Au RMDC, résister leader et fournisseurs de matériaux ont accès à SEMATECH deux micro-exposition d'outils (MET) situé à l'Université College Albany de Nanoscale Science and Engineering et de l'Université de Californie à Berkeley, et peuvent participer à concentré R, coopérative & D avec SEMATECH sociétés membres. Ils ont également accès à des outils de métrologie situés dans plusieurs RMDC SEMATECH.

«Le RMDC rassemble les capacités critiques nécessaires pour permettre aux EUV manufacturable", a déclaré Bryan Rice, le directeur de la lithographie à SEMATECH. «Le partenariat avec des fournisseurs tels que résister à TOK va accélérer le développement et EUV, à son tour, un soutien opportun l'introduction EUVL."

Last Update: 25. October 2011 16:55

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