טוק מצטרף של SEMATECH להתנגד חומרים מרכז פיתוח ב UAlbany NanoCollege

Published on April 29, 2009 at 8:38 AM

SEMATECH , קונסורציום של chipmakers, ו טוקיו Ohka Kogyo ושות' בע"מ (טוק), יצרנית מובילה של photoresists, הודיעה היום כי הצטרפה טוק של SEMATECH להתנגד חומרים מרכז פיתוח (RMDC) במכללה ננו מדע והנדסה (CNSE) מאוניברסיטת אולבני.

המשימה של RMDC היא לפתח להתנגד וחומרים nm 22 דפוסים טכנולוגיות ומעבר, והוא מורכב הן אולטרה סגול קיצוני (EUV) יכולת חשיפה תיק תוכניות בחסות אוניברסיטת מחקר. טוק יהיה צוות עם חוקרים SEMATECH לפתח ולהפגין חומרים EUV ו מתנגד לשימוש ב 22 ננומטר הצומת ומעבר.

"אנחנו שמחים לארח Tok כחבר, ואנו בטוחים פעולה זו תסייע לנו לבנות על העבודה מצוין כי החוקרים ליטוגרפיה של SEMATECH התחייבו לנהוג על התפתחות להתנגד וחומרים כי הם קריטיים עבור המשך ההתקדמות בייצור", אמר ג 'ון Warlaumont, סגן נשיא טכנולוגיות מתקדמות ב SEMATECH. "שותפות חדשה זו היא הדוגמה האחרונה של מאמץ מתמשך של SEMATECH ליצור אפשרויות השתתפות גמישה שתאפשר שותפות רחבה ועמוקה יותר לפיתוח חומרים מתקדמים."

"המאמץ קריטי לפתח ולמסחר את הטכנולוגיה EUVL לייצור בעתיד מכשירים nanoelectronics תהיה משופרת על ידי תוספת של טוקיו Ohka Kogyo כדי של SEMATECH להתנגד חומרים מרכז פיתוח ב אולבני ננוטק של CNSE", אמר ריצ'רד Brilla, CNSE סגן נשיא לאסטרטגיה, בריתות קונסורציומים. "שותפות חדשה זו תאפשר נוספות חיתוך קצה היכולות בבית NanoCollege UAlbany, בניין על ההנהגה העולמית של מדינת ניו יורק בחינוך ננוטכנולוגיה, מחקר ופיתוח, הושטת כלכלית."

בשלב RMDC, להתנגד מובילים וספקים חומרי גישה שני של SEMATECH חשיפה מיקרו כלים (METs) הממוקם באוניברסיטת במכללת אולבני של ננו מדע והנדסה באוניברסיטת קליפורניה בברקלי, והוא יכול להשתתף ממוקד, שיתוף פעולה במו"פ עם SEMATECH חבר חברות. יש להם גם גישה לכלים המטרולוגיה כמה הממוקם RMDC של SEMATECH.

"RMDC מפגיש את היכולות קריטיים הדרושים כדי לאפשר EUV manufacturable," אמר בריאן רייס, מנהל ליתוגרפיה ב SEMATECH. "השותפות עם להתנגד ספקים כגון Tok יאיץ EUV להתנגד פיתוח, בתורו, יתמוך מבוא EUVL בזמן."

Last Update: 5. October 2011 22:32

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit