KLA-Tencor und TELEFON Stellt Neues Paket vor, um OCD-Metrologie-Bedingungen für Knotenpunkt 32nm Zu Erfüllen und Unten

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

Heute KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) und Tokyo Electron Limited (TEL) kündigten AcuShape™, eine neue Formung und Bibliothekgeneration Paket, zum von optischen kritischen Abmessungsmetrologiebedingungen für den Knotenpunkt 32nm zu erfüllen und unten an. Sich Entwickelt als Teil einer Kooperationsvereinbarung zwischen KLA-Tencor und Timbre Technologies, Inc., setzt eine Tochtergesellschaft von TELEFON, dieses neue Anwendungspaket die Stärke der zwei Leader des Sektors wirksam ein, um Metrologieingenieure in IS-fabs zu aktivieren, die Abmessungen von Logik 3D zu messen und Zweikanalgeräte, wie FinFETs*, Küvette RCATs ** und die Zellen, die durch die hoch entwickelte kopierende Technik genannt wird Distanzstück erstellt werden, neigen Sie die Verbindungsaufspaltung. Dieses neue Anwendungspaket lässt ein KLA-Tencors unabhängige optische kritische Abmessungsplattform, SpectraCD™ und Timbre Integrierte Metrologie (IM) CD-Anlagen laufen.

Während fabs ihre zukünftigen Chips vorbereiten, wenden sich sie an innovative kopierende Technologien und Auslegungen, um Einheitsleistung zu erhöhen und Machtmanagement Punkte zu lösen. Eine neue gerufene Technik Distanzstückabstandverbindungsaufspaltung (SPS) aktiviert fabs, kleinere Zeilen und Platz zu drucken, um Einheitsdrehzahl und -geringere Kosten zu erhöhen. Um die Leckageaktuellen ausgaben zu lösen, die mit den kleinen, dicht Raumzeilen verbunden sind, sind dreidimensionale Transistoren auch eingeführt worden. Die Formen von diesen Zellen des Transistors ÜBERZIEHSCHUTZANLAGE und 3D sind zur Halbleiterindustrie neu, und Regelung ihrer Breiten und Profile kann zum Einheitsertrag oder -leistung kritisch sein. Anders Als festgelegte CD-SEM Technologie die Linienbreiten messen kann, aber hat Fähigkeit begrenzt, Profile zu messen, ist die optische CD-Technologie, die durch AcuShape aktiviert wird, für messende Linienbreiten und Profile von Merkmalen 3D gut angepasst.

„Ob auf integriertem oder alleinplattformen stehen Sie, optische CD-Maße sind geworden kritischer zur Messprüfung, da die Industrie durch jeden Technologieknotenpunkt weitergekommen ist,“ sagte Jim Hamajima, Timbrepräsident. „Am Knotenpunkt 32nm, sehen wir einige sehr neue Zellen, und den Psychiater zur Komplexität weitereren Zunahme der Wille aufzutauchen 22nm. Die Zusammenarbeit zwischen KLA-Tencor und Timbre fördert die Abnehmer beider Firmen und holt neue Fähigkeit für das Messen dieser Zellen, während sie entwickelt werden. Außerdem holt Haben einer geläufigen Plattform auf ihren integrierten und unabhängigen optischen CD-Hilfsmitteln Leistungsfähigkeit in den Trainings- und Serverbetriebsmitteln, das hilft in der heutigen Umgebung der schlanken Produktion.“

Ahmad Khan, Vizepräsident und Generaldirektor KLA-Tencors von Filmen und von Scatterometry-Abteilung Technik (FaST) fügte hinzu, „Wir sind begeistert, dass unser Jahr-langes Projekt mit Timbre und TELEFON uns erlaubt hat, die Fähigkeit unserer erfolgreichen SpectraCD-Produktlinie auszudehnen. Indem sie unseren Abnehmern Hilfsmittel geben, um innovative Zellen zu handhaben, sind sie in der Lage, mit ihrer zukünftigen Produktentwicklung Führung zu übernehmen.“

Als Verbesserung für die Industrie-führenden SpectraCD-Produkte, AcuShape ist ein Schlüsselelement in KLA-Tencors Effektenbestand von hoch entwickelten Metrologielösungen Erhältlich. AcuShape ist zu einigen Speicher, Logik und Gießerei fabs in den Vereinigten Staaten, im Europa, im Japan, im Korea und im Taiwan versendet worden, in dem es verwendet wird, um Produktionswafers zu messen und früh lernen auf hoch entwickelten R&D-Zellen zur Verfügung zu stellen.

Das AcuShape-eingetragene Warenzeichen ist das Eigentum von TELEFON und wird zu KLA-Tencor genehmigt. Das SpectraCD-eingetragene Warenzeichen ist das Eigentum von KLA-Tencor Corporation.

*FinFET = „Flossen-“ er-förmig Bereich-Effekt-Transistor (FET)

** RCAT = Vertiefter Kanal-Reihen-Transistor

Last Update: 14. January 2012 05:31

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