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KLA-Tencor y el TELÉFONO Introduce el Nuevo Conjunto Para Cumplir los Requisitos de la Metrología de OCD para el Nodo 32nm y Abajo

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

Hoy, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) y Tokyo Electron Limited (TEL) anunciaron AcuShape™, un nuevo modelado y el conjunto de la biblioteca-generación para cumplir los requisitos críticos ópticos de la metrología de la dimensión para el nodo 32nm y abajo. Convertido como parte de un acuerdo cooperativo entre KLA-Tencor y Timbre Technologies, Inc., una filial del TELÉFONO, este nuevo paquete de programas informáticos leverages la fuerza de los dos líderes del sector para permitir a representantes técnicos de la metrología en los fabs de IC medir las dimensiones de la lógica 3D y las estructuras de memoria, tales como FinFETs*, bulbo RCATs **, y las estructuras creadas por la técnica que modela avanzada llamada espaciador eche partir. Este nuevo paquete de programas informáticos gestiona conectado la plataforma crítica óptica independiente de la dimensión de KLA-Tencor, SpectraCD™, y sistemas Integrados Timbre (IM) del CD de la Metrología.

Mientras Que los fabs preparan sus virutas de la siguiente-generación, están girando a las tecnologías y a los diseños que modelan innovadores para aumentar funcionamiento del dispositivo y para resolver ediciones de la potencia-administración. Una nueva técnica llamada el partir del tono del espaciador (SPS) permite a fabs imprimir líneas y espacios más pequeños para aumentar velocidad del dispositivo y costos más bajos. Para resolver las ediciones actuales del fuga asociadas a las líneas pequeñas, denso espaciadas, los transistores tridimensionales también se han introducido. Las dimensiones de una variable de estos las estructuras del transistor SPS y 3D son nuevas a la industria del semiconductor, y el mando de sus anchos y perfiles puede ser crítico al beneficio o al funcionamiento del dispositivo. A Diferencia de la tecnología establecida de CD-SEM, que puede medir la línea anchos pero ha limitado capacidad de medir perfiles, la tecnología óptica del CD activada por AcuShape está bien adaptada para la línea anchos de medición y los perfiles de las características 3D.

“Si en integrado o ponga de pie las plataformas solas, las mediciones ópticas del CD han llegado a ser más crítico al mando dimensional pues la industria ha progresado en cada nodo de la tecnología,” dijo a Jim Hamajima, presidente del Timbre. “En el nodo 32nm, estamos viendo algunas muy nuevas estructuras el emerger, y el encogimiento a la complejidad del aumento posterior de la voluntad 22nm. La cooperación entre KLA-Tencor y el Timbre beneficia a los clientes de ambas compañías, trayendo la nueva capacidad para medir estas estructuras mientras que se desarrollan. Además, tener una plataforma común en sus herramientas ópticas integradas e independientes del CD trae eficiencia en recursos del entrenamiento y del servidor, que ayuda en el ambiente de fabricación magro de hoy.”

Ahmad Khan, vicepresidente y director general de las Películas de KLA-Tencor y División Tecnológica (FaST) De Scatterometry agregó, “Nos encantan que nuestro proyecto de un año con Timbre y el TELÉFONO ha permitido que ampliemos la capacidad de nuestra línea de productos acertada de SpectraCD. Dando a nuestros clientes las herramientas para manejar las estructuras innovadoras, podrán avanzar con su desarrollo de productos de la siguiente-generación.”

Disponible como mejora para los productos industria-de cabeza de SpectraCD, AcuShape está un elemento clave en la cartera de KLA-Tencor de las soluciones avanzadas de la metrología. AcuShape se ha expidido a varios memoria, lógica y los fabs de la fundición en los Estados Unidos, la Europa, el Japón, la Corea y el Taiwán, en donde se está utilizando para medir los fulminantes de la producción y para proporcionar temprano al aprendizaje en las estructuras avanzadas del R&D.

La marca de fábrica de AcuShape es la propiedad del TELÉFONO y se autoriza a KLA-Tencor. La marca de fábrica de SpectraCD es la propiedad de KLA-Tencor Corporation.

*FinFET = Transistor de Efecto de Campo dado forma del “Plano De Deriva” - (FET)

** RCAT = Transistor Ahuecado del Arsenal del Canal

Last Update: 17. January 2012 00:40

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