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KLA-Tencor et TÉLÉPHONE Introduit le Module Neuf Pour Répondre à des Besoins de Métrologie d'OCD pour le Noeud 32nm et Ci-dessous

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

Aujourd'hui, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ : KLAC) et Tokyo Electron Limited (TEL) ont annoncé AcuShape™, une modélisation neuve et module de bibliothèque-rétablissement pour répondre à des besoins critiques optiques de métrologie de cote pour le noeud 32nm et ci-dessous. Développé en tant qu'élément d'un accord de collaboration entre KLA-Tencor et Timbre Technologies, Inc., une filiale de TÉLÉPHONE, ce progiciel neuf influence la force des deux leaders de l'industrie pour permettre à des ingénieurs de métrologie dans des fabs d'IC de mesurer les cotes de la logique 3D et des structures de mémoire, telles que FinFETs*, bulbe rachidien RCATs **, et structures produites par l'espaceur appelé de structuration avancé de technique lancez se diviser. Ce progiciel neuf traite la plate-forme critique optique autonome de la cote de KLA-Tencor, le SpectraCD™, et les systèmes de CD de Métrologie (IM) Intégrés par Timbre.

Pendant Que les fabs préparent leurs puces de la deuxième génération, ils se tournent vers des technologies de structuration novatrices et des designs pour augmenter la performance de dispositif et pour résoudre des problèmes de gestion de l'alimentation. Se diviser appelé d'hauteur de son d'espaceur de technique neuve (SPS) permet à des fabs d'estamper de plus petits lignes et espaces pour augmenter la vitesse de dispositif et les coûts inférieurs. Afin de résoudre les questions actuelles de fuite associées avec le petit, des lignes en masse espacées, les transistors en trois dimensions ont été également introduites. Les formes des ces des structures du transistor SPS et 3D sont neuves à l'entreprise de semiconducteurs, et le contrôle de leurs largeurs et profils peut être critique au rendement ou à la performance de dispositif. À La Différence de la technologie déterminée de CD-SEM, qui peut mesurer la ligne largeurs mais a limité la capacité de mesurer des profils, la technologie CD optique activée par AcuShape est bien adaptée pour la ligne largeurs de mesure et les profils des caractéristiques techniques 3D.

« Si sur intégré ou restez les seules plates-formes, des mesures CD optiques sont devenus plus critiques au contrôle dimensionnel car l'industrie a progressé par chaque noeud de technologie, » a dit JIM Hamajima, président de Timbre. « Au noeud 32nm, nous voyons quelques structures très neuves apparaître, et le rétrécissement à la complexité d'accroissement plus ultérieur de la volonté 22nm. La coopération entre KLA-Tencor et Timbre bénéficie des abonnées des deux compagnies, portant la capacité neuve pour mesurer ces structures pendant qu'elles sont développées. En Outre, avoir une plate-forme commune sur leurs outils CD optiques intégrés et autonomes porte l'efficience dans des moyens de formation et de serveur, qui aide dans l'environnement de fabrication pauvre d'aujourd'hui. »

Ahmad Khan, vice président et directeur général des Films de KLA-Tencor et de la Division Technologique de Scatterometry (FaST) a ajouté, « Nous sommes avec plaisir que notre projet d'un an avec le Timbre et le TÉLÉPHONE nous ait permis d'étendre la capacité de notre ligne de produits réussie de SpectraCD. En donnant à nos abonnées des outils pour manager les structures novatrices, elles pourront aller de l'avant avec leur développement de produits de la deuxième génération. »

Disponible comme mise à jour aux produits de SpectraCD de leader, AcuShape est un élément clé dans le portefeuille de KLA-Tencor des solutions avancées de métrologie. AcuShape a été expédié aux plusieurs mémoire, logique et fabs de fonderie aux Etats-Unis, en l'Europe, au Japon, à la Corée et au Taïwan, où il est employé pour mesurer des disques de production et pour fournir l'apprentissage précoce sur les structures avancées de R&D.

La marque déposée d'AcuShape est la propriété du TÉLÉPHONE et est qualifiée à KLA-Tencor. La marque déposée de SpectraCD est la propriété de KLA-Tencor Corporation.

*FinFET = de Transistor À Effet De Champ En forme de « Ailette » (FET)

** RCAT = Transistor Enfoncé d'Alignement de la Manche

Last Update: 17. January 2012 02:16

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