KLA-Tencor와 TEL는 새로운을 위한 이하의 OCD 도량형학 요구에 32nm 마디 응하기 위하여 포장을 소개합니다

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

오늘날, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC)와 토오쿄 전자는 알렸습니다 (TEL) AcuShape™, 를 위한 이하의 광학적인 중요한 차원 도량형학 요구에 32nm 마디 응하는 새로운 만들 및 도서관 발생 포장을 제한했습니다. KLA-Tencor 사이 협력적인 계약의 한 부분으로 발전해 2명의 산업계 지도자의 IC fabs에 있는 도량형학 엔지니어를 3D 논리의 차원을 측정하는 가능하게 하도록 병력이 Timbre에 의하여 Technologies, Inc. 의 TEL의 자회사, 이 새로운 소프트웨어 꾸러미 레버리지를 도입하고 메모리 구조 FinFETs*와 같은 전구 RCATs **, 그리고 간격 장치에게 불린 향상된 모방 기술에 의해 만든 구조물 나누를 투구하십시오. 이 새로운 소프트웨어 꾸러미는 KLA-Tencor의 독립 광학적인 중요한 차원 플래트홈, SpectraCD™ 및 음색에 의하여 통합된 도량형학 카드뮴 시스템을 (IM) 작동합니다.

fabs가 그들의 차세대 칩을 준비하는 때, 혁신적인 모방 기술 및 디자인으로 장치 성과를 강화하고 힘 관리 문제점을 해결하기 위하여 돌고 있습니다. 불린 새로운 기술은 간격 장치 피치 나누는 (SPS) fabs를 더 작은 선 및 장치 속도와 저가를 강화하기 위하여 공간을 인쇄하는 가능하게 합니다. 작은, 조밀하게 간격을 둔 선과 관련되었던 누설 현안을 해결하기 위하여는, 3차원 트랜지스터는 또한 소개되었습니다. 이의 모양은 SPS와 3D 트랜지스터 구조물 반도체 산업에 새롭, 그들의 폭 및 단면도의 통제는 장치 수확량 또는 성과에 중대하 할 수 있습니다. 선 폭을 측정할 수 있는 설치된 CD-SEM 기술과는 다른 그러나 단면도를 측정하는 능력을 제한했습니다, AcuShape에 의해 가능하게 된 광학적인 CD 기술은 측정 선 폭 및 3D 특징의 단면도 둘 다를 위해 적절합니다.

"기업이 각 기술 통합에 또는 혼자서 플래트홈을, 광학적인 CD 측정 되었다는 것을 차원 통제에 더 중요하게 서 있으십시오 마디를 통해 점진하기 때문에," 짐 Hamajima를, 음색 말했습니다 대통령. "32nm 마디에, 우리는 몇몇 아주 새로운 구조물 22nm 의지 점진적 증가 복합성에, 및 수축을 나오는 보고 있습니다. KLA-Tencor와 음색 사이 협력은 개발되는 때 이 구조물 측정을 위한 새로운 기능을 가져와 두 회사 전부의 고객을 유익합니다. 게다가, 그들의 통합과 독립 광학적인 CD 공구에 일반적인 플래트홈을 비치하고 있는 것은 오늘 야윈 제조 환경에서." 돕는 서버 자원에 있는 효율성을 가져옵니다, 와 훈련

Ahmad Khan 의 부사장 및 KLA-Tencor의 필름의 총관리인 및 Scatterometry (FaST) 기술부는 덧붙였습니다, 음색과 TEL를 가진 우리의 1년간 계획사업이 저희를 우리의 성공적인 SpectraCD 제품라인의 기능을 확장하는 것이 허용했다는 것을 "우리는 기뻐합니다. 우리의 고객에게 혁신적인 구조물을 처리하기 위하여 공구를 주어서, 그들의 차세대 제품 개발로 앞서갈 수 있을 것입니다."

향상 SpectraCD 산업 주요한 제품에로 유효합니다, AcuShape KLA-Tencor의 향상된 도량형학 해결책의 포트홀리로에 있는 중요한 성분은. AcuShape는 몇몇에 생산 웨이퍼를 측정하고 향상된 연구 및 개발 구조물에 일찌기 배우를 제공하기 위하여 이용되고 있는 미국, 유럽, 일본, 한국 및 대만에 있는 기억 장치, 논리 및 주조 fabs 발송되었습니다.

AcuShape 상표는 TEL의 속성이고 KLA-Tencor에 허용됩니다. SpectraCD 상표는 KLA-Tencor Corporation의 속성입니다.

*FinFET = "탄미익" - 모양 전계효과 트랜지스터 (FET)

** RCAT = 중단된 채널 소집 트랜지스터

Last Update: 14. January 2012 08:10

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