KLA-Tencor en TEL. Introduceren Nieuw Pakket om aan de Eisen van de Metrologie OCD ten aanzien van 32nm Knoop Te Voldoen en Hieronder

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

Vandaag, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) en Tokyo Elektron Beperkte (TEL) aangekondigde AcuShape™, een nieuw modellering en een bibliotheek-generatie pakket om aan de optische kritieke eisen van de afmetingsmetrologie ten aanzien van de 32nm knoop te voldoen en hieronder. Ontwikkeld als deel van een overeenkomst in samenwerkingsverband tussen de Technologieën van KLA-Tencor en van het Timbre, Inc., een dochteronderneming van TEL., hefboomwerkingen van dit de nieuwe softwarepakket de sterkte van de twee de industrieleiders om metrologieingenieurs in IC toe te laten fabs die de afmetingen van 3D logica en geheugenstructuren, zoals FinFETs*, bol RCATs **, en structuren te meten door geavanceerde het vormen techniek geroepen te verdelen van de verbindingsstukhoogte worden gecreeerd. Dit nieuwe softwarepakket werkt op stand-alone optisch kritiek de afmetingsplatform van KLA-Tencor, SpectraCD™, en Timbre Geïntegreerde CD (IM) van de Metrologie systemen.

Aangezien fabs hun volgende-generatiespaanders voorbereid, draaien zij aan innovatieve het vormen technologieën en ontwerpen om apparatenprestaties te verbeteren en macht-beheer kwesties op te lossen. Een nieuwe geroepen techniek verbindingsstukhoogte het verdelen (SPS) laat fabs toe om kleinere lijnen en ruimten af te drukken om apparatensnelheid en lagere kosten te verbeteren. om lekkage huidige kwesties op te lossen in verband met kleine, dicht uit elkaar geplaatste lijnen, zijn de driedimensionele transistors ook geïntroduceerd. De vormen van deze SPS en 3D transistorstructuren zijn nieuw aan de halfgeleiderindustrie, en de controle van hun breedten en profielen kan aan apparatenopbrengst of prestaties kritiek zijn. In Tegenstelling Tot gevestigde technologie cd-SEM, die kan lijnbreedten meten maar capaciteit beperkt om profielen te meten, is de optische die CD technologie door AcuShape wordt toegelaten passend om zowel lijnbreedten als profielen van 3D eigenschappen te meten.

„Hetzij op geïntegreerde of tribune alleen platforms, zijn de optische CD metingen kritieker aan dimensionale controle geworden aangezien de industrie door elke technologieknoop,“ bovengenoemde Jim Hamajima, de voorzitter van het Timbre is gevorderd. „Bij de 32nm knoop, zien wij wat zeer het nieuwe structuren te voorschijn komen, en krimp aan 22nm zal verdere verhogingsingewikkeldheid. De samenwerking tussen de voordelenklanten die van KLA-Tencor en van het Timbre van beide bedrijven, nieuw vermogen voor het meten van deze structuren brengen aangezien zij worden ontwikkeld. Voorts brengt het hebben van een gemeenschappelijk platform op hun geïntegreerde en stand-alone optische CD hulpmiddelen efficiency in opleiding en server middelen, welke hulp in het magere productiemilieu van vandaag.“

Ahmad Khan, ondervoorzitter en algemene manager van de Films van KLA-Tencor en toegevoegde de Afdeling (FaST) van de Technologie Scatterometry, „Wij zijn opgetogen dat ons year-long project met Timbre en TEL. ons heeft toegestaan om het vermogen van onze succesvolle SpectraCD productlijn uit te breiden. Door onze klantenhulpmiddelen te geven om innovatieve structuren te beheren, zullen zij met hun ontwikkeling van het volgende-generatieproduct kunnen gestadig vorderen.“

Beschikbaar als verbetering aan de industrie-leidende SpectraCD producten, AcuShape is een zeer belangrijk element in de portefeuille van KLA-Tencor van geavanceerde metrologieoplossingen. AcuShape is verscheept aan verscheidene geheugen, logica en gieterij fabs in de Verenigde Staten, Europa, Japan, Korea en Taiwan, waar het wordt gebruikt om productiewafeltjes te meten en vroeg het leren op de geavanceerde structuren van R&D te verstrekken.

Het handelsmerk AcuShape is het bezit van TEL. en is vergunning gegeven aan KLA-Tencor. Het handelsmerk SpectraCD is het bezit van KLA-Tencor Corporation.

*FinFET = „Vin“ - de gevormde Transistor van het Effect van het Gebied (FET)

** RCAT = de In Een Nis Gezette Transistor van de Serie van het Kanaal

Last Update: 14. January 2012 06:33

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit