KLA-Tencor e o TELEFONE Introduzem o Pacote Novo Para Cumprir Exigências da Metrologia de OCD para o Nó 32nm e Abaixo

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

Hoje, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) e o Elétron do Tóquio Limitaram (TEL) anunciaram AcuShape™, uma modelagem nova e o pacote da biblioteca-geração para cumprir exigências críticas ópticas da metrologia da dimensão para o nó 32nm e abaixo. Tornado como parte de um acordo cooperativo entre KLA-Tencor e Timbre Tecnologias, Inc., uma subsidiária do TELEFONE, este pacote de software novo leverages a força dos dois líderes do sector para permitir coordenadores da metrologia em fabs do IC de medir as dimensões da lógica 3D e estruturas de memória, tais como FinFETs*, bulbo RCATs **, e estruturas criadas pela técnica de modelação avançada chamada espaçador lance a rachadura. Este pacote de software novo opera sobre a plataforma crítica óptica autônoma da dimensão de KLA-Tencor, o SpectraCD™, e sistemas Integrados Timbre (IM) do CD da Metrologia.

Enquanto os fabs preparam suas microplaquetas da próxima geração, estão girando para tecnologias e projectos de modelação inovativos para aumentar o desempenho do dispositivo e para resolver edições da potência-gestão. Uma técnica nova chamada rachadura do passo do espaçador (SPS) permite fabs de imprimir linhas e espaços menores para aumentar a velocidade do dispositivo e uns mais baixos custos. A fim resolver as edições actuais do escapamento associadas com as linhas pequenas, densa espaçadas, os transistor tridimensionais foram introduzidos igualmente. As formas dos estes estruturas do transistor SPS e 3D são novas à indústria do semicondutor, e o controle de seus larguras e perfis pode ser crítico ao rendimento ou ao desempenho do dispositivo. Ao Contrário da tecnologia estabelecida de CD-SEM, que pode medir a linha larguras mas limitou a capacidade para medir perfis, a tecnologia óptica do CD permitida por AcuShape bem-é serida para a linha larguras de medição e os perfis das características 3D.

“Se em plataformas sozinhas integrada ou do suporte, as medidas ópticas do CD se tornaram mais críticas ao controle dimensional enquanto a indústria progrediu com cada nó da tecnologia,” disse Jim Hamajima, presidente do Timbre. “No nó 32nm, nós estamos vendo algumas estruturas muito novas emergir, e o psiquiatra à complexidade de um aumento mais ulterior da vontade 22nm. A cooperação entre KLA-Tencor e Timbre beneficia os clientes de ambas as empresas, trazendo a capacidade nova para medir estas estruturas enquanto são desenvolvidas. Além Disso, ter uma plataforma comum em suas ferramentas ópticas integradas e autônomas do CD traz a eficiência em recursos do treinamento e do server, que ajuda no ambiente de fabricação magro de hoje.”

Ahmad Khan, vice-presidente e director geral dos Filmes de KLA-Tencor e Divisão de Tecnologia (FaST) de Scatterometry adicionou, “Nós somos deleitados que nosso projecto ano-longo com Timbre e TELEFONE permitiu que nós estendam a capacidade de nossa linha de produtos bem sucedida de SpectraCD. Dando a nossos clientes ferramentas para controlar estruturas inovativas, poderão forjar adiante com seu desenvolvimento de produtos da próxima geração.”

Disponível como uma elevação aos produtos líder de mercado de SpectraCD, AcuShape está um elemento chave na carteira de KLA-Tencor de soluções avançadas da metrologia. AcuShape foi enviado aos diversos memória, lógica e fabs da fundição nos Estados Unidos, na Europa, no Japão, na Coreia e no Taiwan, onde está sendo usado para medir bolachas da produção e para fornecer cedo a aprendizagem em estruturas avançadas do R&D.

A marca registrada de AcuShape é a propriedade do TELEFONE e é licenciada a KLA-Tencor. A marca registrada de SpectraCD é a propriedade de KLA-Tencor Corporation.

*FinFET = Transistor de Efeito de Campo dado forma da “Aleta” - (FET)

** RCAT = Transistor Recessed da Disposição do Canal

Last Update: 14. January 2012 03:37

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