KLA-Tencor и TEL представляет новый пакет для удовлетворения потребностей ОКР метрологии для 32-нм узла и ниже

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

Сегодня, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) и Tokyo Electron Limited (TEL) объявила AcuShape ™, новые моделирования и библиотеки поколения упаковки удовлетворять оптических критической размерности метрологии требования к 32-нм узла и ниже. Разработаны в рамках соглашения о сотрудничестве между ОАК-Tencor и Тембр Technologies, Inc, дочерней компании TEL, этот новый пакет программного обеспечения использует силу двух лидеров отрасли чтобы метрология инженеров фабрики IC для измерения размеров 3D логики и памяти структур, таких как FinFETs *, RCATs лампы **, и структуры, созданные продвинутая техника структурирования называется расщепление Spacer поле. Этот новый пакет программного обеспечения работает на автономных KLA-Tencor оптическим важной платформы измерение, SpectraCD ™ и Тембр Комплексная метрологии (IM) системы компакт-диска.

Как фабрик подготовить свои следующего поколения чипов, они обращаются к инновационным технологиям структурирования и конструкций для повышения производительности устройства и решения управления питанием проблем. Новая техника называется Spacer шаг расщепления (SPS) позволяет фабрике печатать меньше линий и пространства для повышения скорости устройств и снижения затрат. Для того чтобы решить ток утечки вопросов, связанных с небольшими, плотно расположенных линий, трехмерные транзисторы были также введены. Форма этих структур СПС и 3D-транзисторов являются новыми для полупроводниковой промышленности, и контроль за их ширины и профили могут иметь решающее значение для выхода устройства или производительности. В отличие от установленных CD-SEM технологии, которая может измерять ширины линий, но имеет ограниченные возможности для измерения профилей, оптическая технология CD включен по AcuShape хорошо подходит для измерения как ширины линий и профилей 3D.

"Будь по комплексному или самостоятельных платформ, оптических измерений CD становятся все более важное значение для контроля размеров, как промышленность прогрессировала по каждой технологии узел", сказал Джим Hamajima, Тембр президента. "На 32-нм узел, мы видим, что некоторые очень новые структуры, возникающие и сократится до 22 нм приведет к дальнейшему увеличению сложности. Сотрудничества между KLA-Tencor и Тембр преимущества клиентам обеих компаний, в результате чего новая возможность для измерения этих структур по мере их разработки. Кроме того, наличие общей платформы на их комплексного и автономные оптические инструменты CD приносит эффективности в обучении и ресурсы сервера, который помогает в тяжелые условия производства сегодня. "

Ахмад Хан, вице-президент и генеральный менеджер Фильмы KLA-Tencor и рефлектометрии Technology (FAST) отдела добавил: "Мы рады, что наш годичный проект с Тембр и ТЭС позволило нам расширить возможности наших успешных SpectraCD продуктовой линейки. Предоставляя нашим клиентам инструменты для управления инновационными структурами, они будут в состоянии продвигаться вперед с их нового поколения, разработка продукта ".

Доступный в качестве обновления для отрасли SpectraCD продукции, AcuShape является ключевым элементом в портфеле KLA-Tencor в передовых решений метрологии. AcuShape была отгружена до нескольких памяти, логики и литейного производства фабрики в США, Европе, Японии, Корее и на Тайване, где оно используется для измерения производства вафель и обеспечить раннее обучение на передовых R & D структуры.

AcuShape товарный знак является собственностью ТЭС и имеет лицензию на KLA-Tencor. Товарный знак SpectraCD является собственностью KLA-Tencor Corporation.

* FinFET = "Фин"-образные поля полевого транзистора (FET)

** RCAT = Встраиваемые Транзистор массива канала

Last Update: 4. October 2011 21:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit