KLA-Tencor och TELEFON Introducerar Nytt Paketerar för Att Möta OCD-MetrologyKrav för Knutpunkten 32nm och Nedanfört

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

I Dag KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) och den Begränsade Tokyo Elektronen (TEL) meddelade AcuShape™, en ny paketerar modellera och arkiv-utveckling för att möta optisk kritiskt dimensionerar metrologykrav för knutpunkten 32nm och nedanfört. Framkallat som del av en kooperativöverenskommelse mellan KLA-Tencor och Timbre Teknologier, Inc., ett dotterbolag av TELEFON, denna nya programvara paketerar hävstångsverkan styrkan av de två branschledarna för att möjliggöra metrology iscensätter i IC-fabs för att mäta dimensionerar av logik 3D, och minnet strukturerar, liksom FinFETs*, kulan RCATs ** och strukturerar skapat av den kallade avancerade mönstra tekniken att dela för avståndsmätaregrad. Denna nya programvara paketerar fungerar KLAs-Tencors fristående optiska kritiskt dimensionerar på plattformen, SpectraCD™ och Timbren Integrerade Metrology (IM)CDsystem.

Som fabs förbereder sig, gå i flisor deras nästa generation, är de roterande till innovativa mönstra teknologier, och designer som förhöjer apparatkapacitet och som löser driva-ledning, utfärdar. En kallad ny teknik att dela för avståndsmätaregrad (SPS) möjliggör fabs för att skriva ut mindre fodrar, och utrymmen som förhöjer apparaten, rusar och kostar lower. För att lösa läckageströmmen utfärdar tillhörande med litet, tätt görat mellanslag fodrar, tredimensionella transistorer har också introducerats. Formar av dessa SPS, och transistorn 3D strukturerar är ny till halvledarebranschen, och kontrollerar av deras bredder och profilerar kan vara kritisk till den apparatavkastning eller kapaciteten. I Motsats Till etablerad CD--SEMteknologi, som kan mäta fodrar bredder, men har begränsat kapacitet att mäta profilerar, brunn-passas den optiska CD teknologin som möjliggöras av AcuShape, för att mäta både fodrar bredder och profilerar av särdrag 3D.

”Huruvida på inbyggt eller stå ensamma plattformar, optiska CD mätningar har blivit mer kritisk till dimensionellt kontrollerar, som branschen har fortskridit till och med varje teknologiknutpunkt,” sade Jim Hamajima, Timbrepresident. ”På knutpunkten 32nm, ser vi att något mycket nytt strukturerar att dyka upp och hjärnskrynklaren till 22nm ska mer ytterligare förhöjningkomplexitet. Samarbetet mellan KLA-Tencor och Timbren gynnar kunder av båda företag som kommer med ny kapacitet för att mäta dessa, strukturerar, som de framkallas. Dessutom och att ha en allmänningplattform på deras inbyggda och fristående optiska CD bearbetar kommer med effektivitet i utbildning, och serverresurser, som hjälper i dagens, lutar den fabriks- miljön.”,

Ahmad Khan, vicepresident och allmän chef av KLA-Tencors Filmar och tillfogad Scatterometry (FaST) TeknologiUppdelning, ”glädjas Vi som våra år-långa projekterar med Timbre, och TELEFON har tillåtet oss som fördjupa kapaciteten av vår lyckade SpectraCD produkt, fodrar. Genom att ge sig, bearbetar våra kunder för att klara av innovativt strukturerar, dem ska är kompetent att förfalska framåt med deras nästa generationproduktutveckling.”,

Tillgänglig som en förbättring till deledande SpectraCD produkterna, AcuShape är en nyckel- beståndsdel i KLAs-Tencors portfölj av avancerade metrologylösningar. AcuShape har sänts till flera minnet, logik, och gjuterifabs i Förenta staterna, Europa, Japan, Korea och Taiwan, var den är van vid, mäter produktionrån och ger tidig sort som lärer på avancerad R&D, strukturerar.

Det AcuShape varumärket är egenskapen av TELEFON och licenseras till KLA-Tencor. Det SpectraCD varumärket är egenskapen av KLA-Tencor Corporation.

*FinFET = ”formad Fena” - Sätta In Verkställer Transistorn (FET)

** RCAT = Tagit Paus Kanaliserar SamlingTransistorn

Last Update: 24. January 2012 18:48

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit