Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam

KLA-Tencor at TEL Introduces Bagong Package Kilalanin OCD metrolohiya Kinakailangan para sa 32nm node at ibaba

Published on May 12, 2009 at 7:42 PM

Ngayon, KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC) at Tokyo elektron Limited (TEL) inihayag AcuShape ™, isang bagong modeling at library-henerasyon pakete upang matugunan ang mga optical kritikal na mga kinakailangan metrolohiya ng sukat para sa 32nm na node at sa ibaba. Binuo bilang bahagi ng isang matulungin na kasunduan sa pagitan ng KLA-Tencor at uri ng tono Technologies, Inc, isang subsidiary ng TEL, ang bagong pakete ng software Pinakikinabangan ang lakas ng dalawang lider ng industriya upang paganahin ang mga inhinyero metrolohiya sa IC fabs upang masukat ang mga sukat ng 3D lohika at memory kaayusan, tulad ng mga FinFETs *, bombilya RCATs **, at kaayusan na nilikha sa pamamagitan ng advanced na pamamaraan patterning na tinatawag na spacer sukdulang malakas. Ang bagong pakete ng software na nagpapatakbo sa KLA-Tencor ng stand-iisa optical kritikal na sukat platform, SpectraCD ™, at uri ng tono ng Integrated metrolohiya (IM) na CD system.

Bilang ang mga fabs ihanda ang kanilang mga kasunod na henerasyon chips, sila ay nagiging makabagong teknolohiya ng patterning at disenyo upang mapahusay ang aparato pagganap at malutas ang mga isyu na kapangyarihan-pamamahala. Ang isang bagong pamamaraan na tinatawag na spacer sukdulang malakas (SPS) ay nagbibigay-daan sa fabs i-print ng mas maliit na mga linya at puwang upang mapahusay ang bilis ng aparato at mas mababang mga gastos. Upang malutas ang pagtagas kasalukuyang mga isyu na kaugnay sa maliit, nang makapal spaced na mga linya, ang tatlong-dimensional na mga transistors na rin ang nagpasimula. Ang mga hugis ng mga SPS at 3D transistor kaayusan ay bagong sa semiconductor sa industriya, at kontrol ng kanilang mga lapad at profile ay maaaring kritikal sa ani o pagganap ng aparato. Hindi tulad ng itinatag CD-SEM teknolohiya, na maaaring masukat ang lapad ng linya ngunit may limitadong kakayahan upang masukat ang profile, ang optical technology CD pinagana sa pamamagitan ng AcuShape ay well-angkop para sa pagsukat ng mga parehong lapad ng linya at mga profile ng 3D tampok.

"Kung sa integrated o tumayo nag-iisa platform, ang mga sukat ng optical CD ay naging mas kritikal sa dimensional kontrol ng industriya ay progressed sa pamamagitan ng bawat node teknolohiya," sabi ni Jim Hamajima, president ng uri ng tono. "Sa 32nm node, kami ay nakakakita ng ilang mga napaka-bagong kaayusan na umuusbong, at ang pag-urong sa 22nm ay karagdagang dagdagan ang kumplikado. Ang pakikipagtulungan sa pagitan ng KLA-Tencor at mga benepisyo ng uri ng tono mga customer ng parehong kumpanya, nagdadala bagong kakayahan para sa pagsukat ng mga mga kaayusan bilang sila ay binuo. Bukod dito, ang pagkakaroon ng isang pangkaraniwang platform sa kanilang integrated at stand-iisa optical gamit CD pinagsasama kahusayan sa mga pagsasanay at mga mapagkukunan ng server, na tumutulong sa sandalan manufacturing ngayon kapaligiran. "

Ahmad Khan, vice president at pangkalahatang manager ng KLA-Tencor ng pelikula at Scatterometry Technology (FAST) Division idinagdag, "kami ay delighted na ang aming taon-mahaba proyekto sa uri ng tono at TEL ay pinahihintulutan sa amin upang palawigin ang kakayahan ng aming matagumpay SpectraCD produkto linya. Sa pamamagitan ng pagbibigay ng aming mga gamit sa mga customer upang pamahalaan ang makabagong kaayusan, sila ay magagawang upang sumulong sa kanilang mga kasunod na henerasyon product development. "

Magagamit bilang isang mag-upgrade sa sa industriya-nangungunang SpectraCD produkto, AcuShape ay isang mahalagang sangkap sa KLA-Tencor ng portfolio ng mga advanced na solusyon metrolohiya. AcuShape ay naipadala sa ilang mga lohika ng memorya, at pandayan fabs sa Estados Unidos, Europa, Japan, Korea at Taiwan, kung saan ito ay ginagamit upang masukat ang mga wafers ng produksyon at magbigay ng maagang pag-aaral sa advanced R & D kaayusan.

Ang AcuShape trademark ay ang ari-arian ng TEL at lisensiyado sa KLA-Tencor. Ang SpectraCD trademark ay ang ari-arian ng KLA-Tencor Corporation.

* FinFET = "palikpik" sa hugis ng Patlang Epekto transistor (FET)

** RCAT = Recessed Channel Array transistor

Last Update: 18. November 2011 18:37

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit