オックスフォードインスツルメンツはCrystalFlexマルチウェーハ水素蒸気相エピタキシーの原子炉を発表
Published on May 14, 2009 at 10:01 AM
オックスフォードインスツルメンツは CrystalFlexの立ち上げを発表することに興奮。このマルチウェーハ水素蒸気相エピタキシー（HVPE）は、原子炉は、優れたエピタキシャル成長の制御を提供し、高い品質、クラックフリーエピタキシャルGaN系、AlGaNとAlN単結晶材料の製造のためのコスト効率の高いルートを提供しています。
世界をリードする企業として、我々は新たなグループIII窒化物化合物半導体の製造のためのHVPEプロセス及び技術の開発で25年以上の経験を誇っています。
この装置は、R＆Dやプロセスの安定性、再現性、および最適なソースの材料の使用を中心としたIII族窒化物のフルスケールの生産のために設計されています。柔軟な原子炉の構成は、様々な厚さとIII族窒化物の様々な成長をエンドユーザーが可能になります。