Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Universiteit Advancing nanowetenschap en nanotechnologie met nieuwe E-Beam SEM

Published on May 26, 2009 at 8:10 PM

De stad Morgantown, West Virginia, de thuisbasis van West Virginia University , is het maken van nationale koppen als een "economische oase." Het is een van de weinige locaties in de VS met succes worden geïsoleerd van de huidige recessie, biedt diverse mogelijkheden voor werkgelegenheid en onderzoek, plus een lage kosten van levensonderhoud.

Isolatie van een andere soort is die zich in de Universiteit Nanosystems Techniek Shared Cleanroom (NESC), waar Dr Kolin Brown is het installeren van een nieuw e-beam lithografie / scanning elektronenmicroscoop (SEM). Uitgerust met een op maat gemaakte akoestische behuizing te isoleren van de constante achtergrond lawaai, trillingen en magnetische interferentie van de klasse 10.000 cleanroom, zal de nieuwe SEM geen dubbele plicht. Als een e-beam lithografie systeem, zal het te produceren precieze patronen en functies net nanometer in de breedte op silicium substraten. Als een SEM, zal het mogelijk studenten en onderzoekers nanodraden gekoppeld aan extreem kleine componenten ultrahoge resolutie en vergrotingen tot onderzoeken tot 1.000.000 X. Dit niveau van precisie zal worden gevraagd de klok rond in een omgeving met meerdere gebruikers die bevat ook polymeer spinners, nat ontwikkeling banken en plasma-etsen tools.

"Dit gaat om een ​​zeer hete instrument dat veel mensen willen komen en te gebruiken", zegt Brown, Research Program Coordinator voor clean room WVU's. "Ons doel is om de beste SEM op de campus." De lithografie mogelijkheid maakt het nog spannender. "Een van onze vragen is, hoe kunnen we klein gaan? Soms praten we zestig tot zeventig nanometer patronen of gewoon tien voor twaalf nanodraden. "

Door middel van een National Science Foundation Grant die werd aangevuld met een subsidie ​​van de staat West Virginia, de analytische 'field emission' SEM is een onderdeel van krachtige van de Universiteit WVNano Initiative, waardoor onderzoekers en studenten van meerdere vakgebieden van de hulpmiddelen en voorzieningen die ze nodig hebben om nieuwe biosensoren, halfgeleiderelementen, structuren, en fotonische kristallen. Het vervangen van een verouderd, maar speciale e-beam lithografie tool op een ander deel van de grote campus, zal de nieuwe SEM kan snel het bewijs van ontwerp en toepassing testen.

Van studenten tot post docs, blootstelling aan de JEOL JSM-7600F 'field emission' analytische SEM is de mogelijkheid om de meest geavanceerde analytische elektronenmicroscoop technologie te gebruiken die vandaag beschikbaar zijn. Daarnaast zullen externe onderzoekers werkzaam binnen het hoger educatin systeem van West-Virginia of de industrie toegang te krijgen.

"We zijn niet alleen multidisciplinair maar interdisciplinair", zegt Christie Zachary, Public Relations Specialist bij WVNano. "Op West Virginia University bieden wij alles van toxicologie tot orthopedie. Wij zijn verantwoordelijk voor het bouwen van een infrastructuur en het opleiden van studenten, zodat ze kunnen uitstappen in de beroepsbevolking. We veranderen onze cultuur en ontpopt zich als een bron voor echt interdisciplinair onderzoek, en het veranderen van mensen het perspectief van de industrie. Ours is meer een groepscultuur. '

Dr Brown voegt daaraan toe: "De belangen van onze studenten zijn zo uitgebreid. Ze zijn het bestuderen van materialen, of kijken naar de biomedische kant van vroege opsporing van kanker, waar veel van ons werk is te kijken naar de levering van organisch materiaal om sensoren op apparaten die fungeren als uniek sensoren te creëren. Deze biomaterialen kunnen worden gebruikt voor de detectie van virussen of pathogenen voor de binnenlandse veiligheid. Andere keren we gewoon proberen om een ​​methode voor het meten van nieuwe materialen interactie te creëren. Wij doen er alles van puur tot toegepaste wetenschappen. '

Het nieuwe SEM zal deel uitmaken van dat initiatief te zijn. Door afbouw met een JC Nabity patroon generator, heeft de NESC geoptimaliseerd de prestaties van dit instrument als een lithografie tool. Gehuisvest in het NESC drukke clean room omgeving, zal een verzegelde en temperatuur-gecontroleerde akoestische kamer beschermen van de Electron Optics kolom en precisie elektronenbundel generatie van buiten storingen. JEOL ingenieurs en West Virginia University ingenieurs een ontmoeting gehad met Integrated Dynamics Engineering (IDE) op maat passen in de behuizing voor gemakkelijke toegang, minimaal gebruik van de ruimte, robuuste afdichting van de panelen voor herhaald openen en sluiten, compromisloze temperatuur stabiliteit en failsafe geluidsdemping. IDE's AKH panel technologie is een evolutionaire mix van materiaal en constructie om een ​​optimale akoestische isolatie te bereiken.

Last Update: 26. October 2011 15:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit