Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

De Enige Technologie van het Deposito van de Barrière/van het Zaad van het Koper Kwalificeerde voor de Productie van 32 en van 22nm

Published on May 31, 2009 at 7:32 PM

De Toegepaste Materialen, Inc., de globale leider in de oplossingen van Nanomanufacturing Technology™ met een brede portefeuille van innovatieve apparatuur, de dienst en softwareproducten voor de vervaardiging van halfgeleiderspaanders, vlak paneelvertoningen, zonne photovoltaic cellen, flexibele elektronika en energie efficiënt glas, lanceerden vandaag zijn Toegepast Endura® systeem PVD, de de enige die koperbarrière/technologie van Welpen RFX van het zaaddeposito voor 32 en 22nm productie door logica en flitsgeheugenfabrikanten wordt gekwalificeerd. Voortbouwend op Toegepaste leiding van 10 jaar in dit kritieke koper verbind proces onderling, breidt het Endura systeem van Welpen RFX zijn bewezen, rendabele technologie PVD* uit om de uitzonderlijke stapdekking en integriteit van de zaadlaag - aan maximaal 40% lagere kosten per wafeltje te verstrekken dan concurrerende technologieën.

Het Endura systeem PVD van Welpen RFX levert de uitzonderlijke stapdekking en integriteit van de zaadlaag voor sub-45nm apparaten aan maximaal 40% lagere kosten per wafeltje. (Foto: Business Wire)

„Het Toekomstige schrapen van koper verbindt afhangt bij het vinden van een betrouwbare, rendabele manier om barrière en zaadlagen onder 45nm te deponeren,“ bovengenoemde Steve Ghanayem, ondervoorzitter en algemene manager Deposito van het Metaal van van Toegepaste Materialen het' en Voor Van Bedrijfs eindproducten Eenheid onderling. Het „Endura systeem PVD van Welpen RFX laat klanten toe om hun bestaande processtromen voor nog eens twee apparatengeneraties met robuuste, productie-bewezen technologie uit te breiden PVD, en risico voor hun lopende banden te vermijden die de onbewezen en dure nieuwe integratieregelingen konden voorstellen.“

Het Efficiënte barrière en zaadlaagdeposito is kritiek aan het verzekeren van de snelheid en de betrouwbaarheid van koper verbindt onderling, aangezien het koperverspreiding verhindert en verstrekt een kwaliteitsnucleation laag voor verder bulkkoper vult. De Sleutel tot de nieuwe Endura hoge prestaties van het systeem van Welpen RFX is zijn nieuwe EnCoRe™ II de kamer van het het zaadproces van Cu RFX. Aanwendend een nieuwe magnetronbaan en een merkgebonden ionensysteem van de stroomcontrole om de filmdekking en morfologie te verbeteren, levert het proces vlotte, ononderbroken zaadlagen want het nietig-vrije koperhiaat vult en apparatenbetrouwbaarheid optimaliseerde.

Het Toegepaste die systeem van de Welpen PVD van doorbraakEndura, in 1997 wordt gelanceerd, liet vooruit een belangrijke sprong in barrière/zaaddepositovermogen door de volledige opeenvolging op een enig, high-vacuum platform toe te integreren. Met bijna 500 van het koperbarrière/zaad systemen in gebruik door de overgrote meerderheid van koper Toegepaste heeft de spaanderfabrikanten wereldwijd, zijn capaciteit aangetoond om rendabele technologie PVD over veelvoudige technologiegeneraties uit te breiden.

Voor meer informatie, bezoek www.appliedmaterials.com/products/endura_cubs_rfx_4.html.

* PVD = fysiek dampdeposito

Last Update: 14. January 2012 04:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit