Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Carl Zeiss om Product voor Industrie Te Verdelen van de Halfgeleider die door HAP wordt Ontwikkeld

Published on June 2, 2009 at 4:59 AM

De Afdeling van de Systemen van de Metrologie van de Halfgeleider (SMS) van Carl Zeiss SMT versterkt zijn partnerschip met het Dresden gebaseerde bedrijf HAP.

Lothar Andritzke (Leidende Directeur HAP), Dr. Oliver Kienzle (Leidende Directeur Carl Zeiss SMS), Dr. Steffen Pollack (Leidende Directeur HAP) (1st rij van links naar rechts) tijdens het ondertekenen van de overeenkomst die door C. Sänn, Dr. A. Zibold, C. Ehrlich (Carl Zeiss SMS) wordt gesteund (2de rij van links naar rechts).

Beide bedrijven hebben een overeenkomst ondertekend die tot SMS maakt de exclusieve verdeler van een onlangs ontwikkeld „Hulpmiddel van de Verwijdering Pellicle“ voor photomasks. Het systeem laat de automatische en zachte verwijdering van pellicles van photomasks toe die in halfgeleider productie wordt gebruikt. Dergelijke pellicles zijn fundamenteel om gevoelige photomasks tegen verontreiniging te beschermen. De overeenkomst merkt een succesvolle mijlpaal in de aan de gang zijnde samenwerking van R&D tussen SMS en HAP zoals de ontwikkeling van het hulpmiddel van de volgende generatie photomask registratie BLIJKT.

„Wij zijn gelukkig om in HAP een innovatieve betrouwbare partner gevonden te hebben, de van wie bekwaamheden van ons.“ volkomen aanvullen verklaart Dr. Oliver Kienzle, Leidende Directeur van de Afdeling van SMS. Het „systeem laat onze klanten toe om het het schoonmaken proces van hoogst gevoelige photomasks te verbeteren, dat helpt om opbrengsten en daarom sparen kosten“ te verbeteren.

Het bedrijf HAP ontwikkelt speciale oplossingen voor wafeltje en substraten in de micro-electronische techniek van het de industrie en micro- systeem.

De „samenwerking met Carl Zeiss produceert sterke synergismen voor beide bedrijven. Wij kunnen aan de verkoop en het de dienstnetwerk wereldwijd van de Afdeling van SMS evenals hun uitvoerige deskundigheid inzake de halfgeleiderindustrie deelnemen. SMS kan zijn klanten in het masker verstrekken dat de industrie tot een nieuwe technologie zonder hun eigen inspanning van R&D maakt.“ verklaart Dr. Steffen Pollack, Leidende Directeur HAP.

Het hulpmiddel verwijdert automatisch pellicle uit een photomask door een specifieke thermisch en krachtrecept op pellicle toe te passen opzet. Deze technologie is hoogst voordelig aangezien het de nadelen van standaard handpellicleverwijdering zoals maskerverontreiniging, of elimineert in het slechtste geval aan het afdanken van het masker. Aangezien photomasks de volledige structurele informatie van geïntegreerde schakelingen draag, zijn zij een zeer belangrijk element in halfgeleider productie.

Last Update: 14. January 2012 04:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit