Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Carl Zeiss som Fördelar Produkten för HalvledareBransch som Framkallas av SLUMP

Published on June 2, 2009 at 4:59 AM

Uppdelningen för HalvledareMetrologySystem (SMS) av Carl Zeiss SMT förstärker dess deltagareship med den Dresden baserade företagsSLUMPEN.

Lothar Andritzke (DisponentSLUMPEN), Dr. Oliver Kienzle (Disponenten Carl Zeiss SMS), Dr. Steffen Lyrtorsk (DisponentSLUMP) (1st ror från från vänster till höger), under underteckna av överenskommelsen som stöttas av C. Sänn, Dr. A. Zibold, C. Ehrlich (Carl Zeiss SMS) (2nd ror från från vänster till höger).

Båda företag har undertecknat en överenskommelsedanande SMS som artikel med ensamrättfördelaren av en nyutvecklad ”Pellicle Borttagning Bearbetar” för photomasks. Systemet möjliggör det automatiskt och stillar borttagning av pellicles från photomasks som används i den fabriks- halvledaren. Sådan pellicles är grunden som skyddar de känsliga photomasksna från förorening. Överenskommelsen markerar en lyckad milstolpe i de pågående R&D-samarbetena mellan SMS, och SLUMPEN liksom utvecklingen av nästa generationphotomaskregistreringen bearbetar BEVISAR.

”Är Vi lyckliga att ha funnit i SLUMP en innovativ pålitlig partner, vars kompetenser kompletterar vår perfekt.”, påstår Dr. Oliver Kienzle, Disponenten av SMS-Uppdelningen. ”Möjliggör systemet våra kunder för att förbättra lokalvården som är processaa av högt känsliga photomasks, som hjälper att förbättra avkastningar, och därför räddningen kostar”.

FöretagsSLUMPEN framkallar speciala lösningar för rån och substrates i microelectronic bransch- och mikrosystemtekniken.

”Frambringar samarbetet med Carl Zeiss starka synergies för båda företag. Vi kan delta i de världsomspännande reorna, och tjänste- knyta kontakt av SMS-Uppdelningen såväl som deras omfattande sakkunskap i halvledarebranschen. SMS kan ge dess kunder i maskeradanandebranschen en ny teknik utan deras egna R&D-försök.”, förklarar Dr. Steffen Lyrtorsk, DisponentSLUMP.

Bearbeta tar automatiskt bort pelliclen från en photomask, genom att applicera ett hängivet termisk och styrkarecept till pelliclemonteringen. Denna teknologi är högt fördelaktig, sedan den avlägsnar nackdelarna av standard manuell pellicleborttagning liksom maskerar förorening, eller i det värst fallet till skrota av maskera. Som photomasks bär den färdiga strukturella informationen av inbyggt - går runt, dem är en nyckel- beståndsdel i den fabriks- halvledaren.

Last Update: 24. January 2012 20:47

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit