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卡尔分配机会发展的半导体行业的产品的蔡司

Published on June 2, 2009 at 4:59 AM

半导体计量学系统部 (SMS) 卡尔蔡司 SMT 加强其有德累斯顿公司总部机会的合作伙伴船。

洛塔尔 Andritzke (总经理机会),奥利佛史东 Kienzle (总经理卡尔蔡司 SMS),斯蒂芬 Pollack (总经理机会) (第 1 行博士在 C. 支持的签署的博士从左到右) 协议期间 Sannn, A. Zibold, C. Ehrlich (卡尔蔡司 SMS) (第 2 行博士从左到右)。

两家公司签署了做 SMS 包销的协议一个最近被开发的 “Pellicle 删除工具”为光掩膜。 这个系统启用 pellicles 自动和柔和的删除从用于半导体制造的光掩膜。 这样 pellicles 是根本的保护敏感光掩膜免受污秽。 这个协议指示在持续的 R&D 协作的一个成功的重要事件在 SMS 之间,并且机会例如下一代光掩膜注册工具的发展证明。

“我们是愉快找到在机会一个创新可靠合作伙伴,能力完全补充我们的”。 状态奥利佛史东 Kienzle, SMS 分部的总经理博士。 “这个系统使我们的客户改进高灵敏的光掩膜的清洁进程,改进产量并且节省费用的帮助”。

公司机会开发薄酥饼和基体的特殊解决方法在微电子学行业和微系统技术。

“与卡尔蔡司的合作生成两家公司的严格的共同作用。 我们可以参加 SMS 分部的全世界销售额和业务网以及他们的在半导体行业上的全面专门技术。 SMS 可能提供其做行业一种新技术的屏蔽的客户,不用他们自己的 R&D 工作成绩”。 解释斯蒂芬 Pollack,总经理机会博士。

工具从光掩膜自动地取消 pellicle 通过适用于一份专用的上升暖流和强制处方 pellicle 挂接。 此技术是高度有利的,因为它消灭标准手工 pellicle 删除缺点例如屏蔽污秽,或者在最坏的情况下对报废屏蔽。 因为光掩膜传播集成电路的完全结构信息,他们是关键字元在半导体制造中。

Last Update: 13. January 2012 22:10

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