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卡爾分配機會發展的半導體行業的產品的蔡司

Published on June 2, 2009 at 4:59 AM

半導體計量學系統部 (SMS) 卡爾蔡司 SMT 加強其有德累斯頓公司總部機會的合作夥伴船。

洛塔爾 Andritzke (總經理機會),奧利佛史東 Kienzle (總經理卡爾蔡司 SMS),斯蒂芬 Pollack (總經理機會) (第 1 行博士在 C. 支持的簽署的博士從左到右) 協議期間 Sannn, A. Zibold, C. Ehrlich (卡爾蔡司 SMS) (第 2 行博士從左到右)。

兩家公司簽署了做 SMS 包銷的協議一個最近被開發的 「Pellicle 刪除工具」為光掩膜。 這個系統啟用 pellicles 自動和柔和的刪除從用於半導體製造的光掩膜。 這樣 pellicles 是根本的保護敏感光掩膜免受汙穢。 這個協議指示在持續的 R&D 協作的一個成功的重要事件在 SMS 之間,并且機會例如下一代光掩膜註冊工具的發展證明。

「我們是愉快找到在機會一個創新可靠合作夥伴,能力完全補充我們的」。 狀態奧利佛史東 Kienzle, SMS 分部的總經理博士。 「這個系統使我們的客戶改進高靈敏的光掩膜的清潔進程,改進產量並且節省費用的幫助」。

公司機會開發薄酥餅和基體的特殊解決方法在微電子學行業和微系統技術。

「與卡爾蔡司的合作生成兩家公司的嚴格的共同作用。 我們可以參加 SMS 分部的全世界銷售額和業務網以及他們的在半導體行業上的全面專門技術。 SMS 可能提供其做行業一種新技術的屏蔽的客戶,不用他們自己的 R&D 工作成績」。 解釋斯蒂芬 Pollack,總經理機會博士。

工具從光掩膜自動地取消 pellicle 通過適用於一份專用的上升暖流和強制處方 pellicle 掛接。 此技術是高度有利的,因為它消滅標準手工 pellicle 刪除缺點例如屏蔽汙穢,或者在最壞的情況下對報廢屏蔽。 因為光掩膜傳播集成電路的完全結構信息,他們是關鍵字元在半導體製造中。

Last Update: 24. January 2012 18:06

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