SUSS MicroTec, ein führender Lieferant von Gerätenlösungen für 3D Integration, MEMS, Brachte das Verpacken voran und Nanotechnologiemärkte, Produkteinführungen mit der MO-Berührungs-Optik, die eine neue Beleuchtungsanlage für alle Generationen von manuellen und automatischen SUSS-Maskenausrichtungstransporten konstruierte. Die neue optische Anlage basiert auf eindeutigen microlens Reihen der hohen optischen Qualität, um höhere Intensität, verbesserte Berührungsleuchteneinheitlichkeit und die kundenspezifische Beleuchtungsformung zur Verfügung zu stellen. Dieses erlaubt Benutzern von Maskenausrichtungstransporten SUSS MicroTec, das Prozessfenster zu optimieren und Ertrag im Kontakt und in der Näherungslithographie zu erhöhen. MO-Berührungs-Optik (schwebend) ist ausschließlich durch SUSS MicroOptics, ein Weltführender Lieferant für hochwertige Optiklösungen in der Beleuchtung, in den medizinischer und der Vision Laserstrahlanlagen der Formung, der Metrologie, entwickelt worden.
MO-Berührungs-Optik wird mit einer Bibliothek von Beleuchtungseinstellungen, einschließlich alle festgelegten Masken-Ausrichtungstransporteinstellungen SUSS MicroTec (Ein-Optik, D-Optik, LGO und STUNDE) plus zusätzliche Einstellungen wie -quadrupols, -multipol- und -Malteserkreuz der Ringbeleuchtung, -dipols, versehen. Durch eine einfache Änderung der Beleuchtungs-Filter-Platten (IFP) kann der Benutzer die optimierten Beleuchtungseinstellungen beschließen, um eine höhere Prozessbreite zu erzielen. Automatisierter IFP-Austauscher wird für Produktionsmaskenausrichtungstransporte angeboten. Eine freie Wahl von optimierten Beleuchtungseinstellungen, z.B. Ringbeleuchtung für vias und Malteserkreuz für die vertikalen und horizontalen Zeilen erhöht die Schärfentiefe- und Berührungsbreite bei der Verringerung von Maskenfehlerfaktoren. Die Anlage erlaubt auch Benutzern, völlig nach Wunsch hergestellt Beleuchtung zu konstruieren, die ihre Schicht-spezifischen Prozessfenster optimiert.
„MO-Berührungs-Optik ist ein großer Fortschritt in den Ertragverbesserungen, die hohe Auflösung sogar an den großen Näherungsabständen für alle unsere Maskenausrichtungstransporte“, erklärter Dr. Ralf Süss, Generaldirektor der Lithographie-Abteilung SUSS MicroTecs bereitstellen.
Die MO-Berührungs-Optikbeleuchtungsanlage ist für unmittelbaren Versand für alles Handbuch und automatisierten Maskenausrichtungstransporte erhältlich. Existierende Maskenausrichtungstransporte SUSS MicroTec können auf dem Gebiet nachgerüstet werden.
„, Indem wir die Möglichkeit anbieten, um die eingebaute Basis mit der neuen MO-Berührungs-Optikbeleuchtungsanlage auszubauen, helfen wir unseren Abnehmern, ihre Investition in der gut-erwiesenen Maskenausrichtungstransporttechnologie“ hinzugefügter Frank P. Averdung, Präsident und Vorstandsvorsitzende zu schützen von SUSS MicroTec AG. „Es erlaubt ihnen, Kosten in dieser schwierigen wirtschaftlichen Umgebung sofort zu sparen.“