SUSS MicroTec , ένας κορυφαίος προμηθευτής λύσεων εξοπλισμού για 3D Ολοκλήρωσης, MEMS, Advanced Συσκευασία και τις αγορές νανοτεχνολογία, εγκαινιάζει με την έκθεση Οπτικής MO ένα νέο σύστημα φωτισμού έχουν σχεδιαστεί για όλες τις γενιές των χειροκίνητο και αυτόματο νάρθηκες μάσκα SUSS. Το νέο οπτικό σύστημα βασίζεται στη μοναδική συστοιχίες microlens υψηλής ποιότητας οπτικών για να παρέχει υψηλότερη ένταση, βελτιωμένη ομοιομορφία έκθεση σε φως και προσαρμοσμένο φωτισμό διαμόρφωση. Αυτό επιτρέπει στους χρήστες της Suss νάρθηκες μάσκα MicroTec για τη βελτιστοποίηση της διαδικασίας παράθυρο και την ενίσχυση της απόδοσης σε επαφή και λιθογραφία εγγύτητας. MO Optics έκθεσης (εκκρεμεί δίπλωμα ευρεσιτεχνίας) έχει αναπτυχθεί εξ ολοκλήρου από SUSS μικροοπτική, έναν κόσμο ηγετική θέση στην αγορά για τα υψηλής ποιότητας οπτικών λύσεις στο φωτισμό, λέιζερ διαμόρφωση, τη μετρολογία, την ιατρική και τα συστήματα όραμα.
MO Optics έκθεσης είναι εφοδιασμένο με μια βιβλιοθήκη από τις ρυθμίσεις φωτισμού, συμπεριλαμβανομένων όλων των ιδρύθηκε SUSS MicroTec μάσκα ρυθμίσεις ευθυγραμμών (A-Optics, D-Optics, ΟΤΑ και ΥΕ) καθώς και επιπλέον ρυθμίσεις, όπως φωτισμός δαχτυλίδι, δίπολο, τετραπολικός, multipole και της Μάλτας σταυρό. Με μια απλή αλλαγή του φωτισμού Πλάκες Filter (IFP) ο χρήστης μπορεί να επιλέξει τις βελτιστοποιημένες ρυθμίσεις του φωτισμού για να επιτύχει ένα υψηλότερο γεωγραφικό πλάτος διαδικασία. Αυτοματοποιημένη IFP εναλλάκτη θα προσφέρεται για νάρθηκες μάσκα παραγωγή. Μια ελεύθερη επιλογή βελτιστοποιημένες ρυθμίσεις του φωτισμού, π.χ. φωτισμός δαχτυλίδι για vias και της Μάλτας σταυρό για τις κάθετες και οριζόντιες γραμμές θα αυξήσει το βάθος της εστίασης και πλάτος έκθεσης και παράλληλα τη μείωση των παραγόντων σφάλματος μάσκα. Το σύστημα επιτρέπει επίσης στους χρήστες να σχεδιάσουν πλήρως made-to-order φωτισμό που βελτιστοποιεί στρώμα ειδικά για τα παράθυρά τους διαδικασία.
«MO Optics έκθεσης αποτελεί ένα σημαντικό βήμα προς τα εμπρός σε βελτιώσεις των αποδόσεων που παρέχει υψηλή ανάλυση σε ακόμα μεγάλα κενά εγγύτητα για όλους τους νάρθηκες μάσκα μας", εξήγησε ο Δρ Ralf Suss, γενικός διευθυντής του τμήματος Λιθογραφία SUSS MicroTec του.
Η έκθεση MO Optics σύστημα φωτισμού είναι διαθέσιμη για άμεση αποστολή όλων των χειροκίνητο και αυτόματο νάρθηκες μάσκα. Τα υπάρχοντα SUSS νάρθηκες μάσκα MicroTec μπορεί να τοποθετηθεί στον τομέα.
«Δίνοντας τη δυνατότητα για την αναβάθμιση της εγκατεστημένης βάσης με τη νέα έκθεση MO σύστημα φωτισμού Optics βοηθάμε τους πελάτες μας για να προστατεύσει την επένδυσή τους στο καλά-αποδεδειγμένη τεχνολογία ευθυγραμμών μάσκα», πρόσθεσε ο Frank Π. Averdung, Πρόεδρος και Διευθύνων Σύμβουλος της Suss MicroTec AG. «Θα επιτρέψει την εξοικονόμηση κόστους αμέσως σε αυτό το δύσκολο οικονομικό περιβάλλον».